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以cr为中间层的类石墨梯度层微观结构分析-课程设计
材料分析测试
课程设计(论文)
题目: 以cr为中间层的类石墨梯度层微观结构分
析
学 院 材料科学与工程
专 业 材料物理
班 级 材物092
学 生 丁沫
学 号 3080101354
指导教师 陈迪春
起止时间 2012.12.24~2013.01.04
2009级材料物理化学系材料分析测试课设论文
2012 年 秋季 学期
材料分析测试课程设计任务书
092 2
材料物理与化学系 材料物理 材物 第 组 丁沫
课程设计题目: 以cr为中间层的类石墨梯度层微观结构分析
课程设计内容要求:
, xps
用闭合场非平横磁控溅射方法制备类石墨中间层 并且运用 和各种电
镜分析手段分析检测该薄膜的成分、微观组织形貌 、掺杂cr对其理化性质的影
响。得出结论,并完成一篇课程设计论文。
学生(签名) 丁沫
2013 年 1 月 4 日
材料分析测试方法课程设计评语
教师签字:
年 月 日
2
2009级材料物理化学系材料分析测试课设论文
目录
第一章 前言错误!未定义书签。
1.1 类石墨镀层(GLC)简介错误!未定义书签。
1.2 类石墨镀层制备技术错误!未定义书签。
1.3 非平衡磁控溅射技术简介错误!未定义书签。
第二章 实验分析方法及实验仪器错误!未定义书签。
2.1 实验分析错误!未定义书签。
2.2 实验仪器及简介错误!未定义书签。
第三章 实验结果分析错误!未定义书签。
3.1XPS分析错误!未定义书签。
3.2 电镜分析错误!未定义书签。
3.2.1TEM分析错误!未定义书签。
3.2.2SEM分析错误!未定义书签。
3.3 原子力显微分析(AFM)错误!未定义书签。
第四章 结论错误!未定义书签。
3
2009级材料物理化学系材料分析测试课设论文
第一章 前言
为适应精密制造的切削加工要求期望刀具镀层具有小的摩擦系,
数低磨损率 自润滑和高温环境下的组织稳定性被深入研究的金刚, , .
sp3
石和类金刚石镀层是以 碳键结构为主,表现出非常好的摩擦学性
能,已应用在刀具模具表面作为减模抗模镀层,但这两种镀层都有很
高的内应力,
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