sic机械密封环表面微织构激光加工工艺 - 江苏大学.pdf

２０１２年３月 第３０卷　第２期 　 Ｍａｒ．２０１２ Ｖｏｌ．３０　 Ｎｏ．２ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７４－８５３０．２０１２．０２．０１７ ＳｉＣ机械密封环表面微织构激光加工工艺 符永宏，王祖权，纪敬虎，杨东燕，符昊 （江苏大学机械工程学院，江苏 镇江２１２０１３） 摘要：采用声光调Ｑ二极管泵浦Ｎｄ：ＹＡＧ激光器，利用“单脉冲同点间隔多次”激光加工工艺， 对碳化硅机械密封试样端面进行激光表面微织构的加工工艺试验研究．采用ＷｙｋｏＮＴ１１００表面 形貌三维测量仪测量了微织构的几何形貌参数，分析了泵浦电流、脉冲重复频率、脉冲重复次数 和扫描速度等激光加工工艺参数对微凹腔和微凹槽织构的几何形貌参数与加工质量的影响．结 果表明，泵浦电流和脉冲重复次数对微凹腔的几何形貌参数与加工质量影响较大，而重复频率 的影响则相对较小；泵浦电流、扫描速度和重复频率对微凹槽的加工质量均有较大影响．通过优 化激光加工工艺参数组合，可以加工出较优的微观几何形貌．加工微凹腔较优的工艺参数范 围：泵浦电流为１４～１６Ａ，脉冲重复次数为１～１０次；加工微凹槽的较优工艺参数范围：泵浦电 流为１４～１６Ａ，重复频率为１５００～２５００Ｈｚ，扫描速度为８～２５ｍｍ／ｓ． 关键词：碳化硅；机械密封；激光表面织构；跨尺度；工艺参数 中图分类号：Ｓ２７７９；ＴＮ２４９　文献标志码：Ａ　文章编号：１６７４－８５３０（２０１２）０２－０２０９－０５ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｏｆｌａｓｅｒｓｕｒｆａｃｅｍｉｃｒｏｔｅｘｔｕｒｉｎｇｏｎｓｕｒｆａｃｅ ｏｆＳｉＣｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｅａｌ ＦｕＹｏｎｇｈｏｎｇ，ＷａｎｇＺｕｑｕａｎ，ＪｉＪｉｎｇｈｕ，ＹａｎｇＤｏｎｇｙａｎ，ＦｕＨａｏ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ，Ｊｉａｎｇｓｕ２１２０１３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｌａｓｅｒｓｕｒｆａｃｅｔｅｘｔｕｒｉｎｇｏｎｔｈｅＳｉＣｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｅａｌｓａｍｐｌｅｓｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄｂｙｕｓｉｎｇａ ＱｓｗｉｔｃｈｅｄｄｉｏｄｅｐｕｍｐｅｄＮｄ：ＹＡＧｌａｓｅｒａｎｄｔｈｅｌａｓｅｒｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｃａｌｌｅｄ“ｓｉｎｇｌｅｐｕｌｓｅａｔａ ｔｉｍｅ，ｒｅｐｅａｔｅｄａｔｉｎｔｅｒｖａｌｓ”，ａｎｄｔｈｅｇｅｏｍｅｔｒｉｃｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｔｅｘｔｕｒｅｗｅｒｅｍｅａｓｕｒｅｄｂｙｍｅａｎｓｏｆＷｙ ｋｏＮＴ１１００ｓｕｒｆａｃｅｐｒｏｆｉｌｅｒ，ｆｕｒｔｈｅｒｔｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｌａｓｅｒｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｐａｒａｍｅｔｅｒｓ（ｐｕｍｐｉｎｇｃｕｒｒｅｎｔ，ｒｅｐｅｔｉ ｔｉｏｎｆｒｅｑｕｅｎｃｙ，ｎｕｍｂｅｒｏｆｅｘｃｉｔａｔｉｏｎｓ，ｓｃａｎｎｉｎｇｓｐｅｅｄ）ｏｎｔｈｅｇｅｏｍｅｔｒｉｃａｌｐａｒａｍｅｔｅｒｓａｎｄｑｕａｌｉｔｙｏｆ ｍｉｃｒｏｔｅｘｔｕｒｅｓｗａｓａｎａｌｙｚｅｄ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｐｕｍｐｉｎｇｃｕｒｒｅｎｔａｎｄｎｕｍｂｅｒｏｆｅｘｃｉｔａｔｉｏｎｓｈａｖｅａｎ ｅｖｉｄｅｎｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｔｈｅｍｉｃｒｏｐｏｒｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｑｕａｌｉｔｙ，ａｎｄｒｅｐｅｔｉｔｉｏｎｆｒｅｑｕｅｎｃｙｉｓｒｅｌａｔｉｖｅｌｙｓｍａｌｌ． Ｈｏｗｅｖｅｒ，ｐｕｍｐｉｎｇｃｕｒｒｅｎｔ，ｓｃａｎｎｉｎｇｓｐｅｅｄａｎｄｒｅｐｅｔｉｔｉｏｎｆｒｅｑｕｅｎｃｙｃａｎｇｒｅａｔｌｙａｆｆｅｃｔｍｉｃｒｏｇｒｏｏｖｅ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｑｕａｌｉｔｙ．Ｈｉｇｈｑｕａｌｉｔｙｍｉｃｒｏｔｅｘｔｕｒｅｓｃａｎｂｅｏｂｔａｉｎｅｄｖｉａｏｐｔｉｍｉｚｉｎｇｔｈｅｌａｓｅｒｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｐ