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大口径高精度液体静压转台研制.pdf
设计与研究测gnandRe湖rCh 2017年第5期
大口径高精度液体静压转台研制木
吴媛媛①李彬②赵惠英③
③西安交通大学机械工程学院,陕西西安710049)
摘要:介绍了一种用于大口径非球面镜超精密数控磨床的高精度液体静压转台部件。通过工艺可行性分
析和精度传递模型给出了优化的转台结构;采用数值列举法给出了径向和轴向刚度与油膜厚度的
设计参数;为考察油膜压力作用下零件变形对转台刚度的影响,采用流固耦合分析方法对零件的强
度进行了校核;利用直径为40
mm,圆度为0.05岬的标准球和电感测微仪对回转工作台的径向
和轴向跳动进行了测试试验,得到回转工作台轴向和径向误差均小于0.5呻。
关键词:高精度液体静压转台;刚度设计;数值列举;流固耦合
中图分类号:TP391 文献标识码:A
DoI:10.19287/j.cnⅪ.1005—2402.2017.05.016
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Yuanyuan①,LIBin②,ZHA0Huiying③
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451191,cHN;(萤schoolEngineering,xi’anJiaotonguniversity,xi’an
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Abstract:largehighprecisionhydmstaticmtary largeaspheric precisionNC鲥nding
machinewas this the manufactureand tmnsfor-
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model,theoptimized rotary proposed.Designparametersg印
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