多工型高精密微小4 轴cnc 加工机之研发及其应用 - mipaper by lcis .pdfVIP

多工型高精密微小4軸 CNC 加工機之研發及其應用 計畫緣由及目的 目前及未來工業產品愈趨於輕、薄、短、小及形狀與結構複雜化，在這 種趨勢下，微細加工技術 (micromachining)的需求就愈顯迫切與重要。根據 一份德國政府對全球微系統技術(micro system technology, MST)發展趨勢 及市場所做的評估報告 [1] ，指出全球的微系統技術的產品每年以18%的速 度成長如圖 1 所示。此亦顯示出微系統技術具 有前瞻、高附加價值、多樣 化與跨領域等特色，是各相關產業積極投入研發的重點技術。微系統技術 中現階段最成熟的應屬『微影技術和 X 光深刻技術』，但此兩製程投資龐 大，適合大量而不適用於少量多樣化的生產；且蝕刻技術最成熟的材料還 侷限在矽基材料，其他金屬材尚處研發階段；所能加工的造型，也只限於 1D 、2D 或 2.5D 範圍， 3D 以上微小複雜形狀，則需賴其他機器設備才能 完成。在功能複雜化、體積微小化和尺寸精密化的發展下，其所要求的加 工設備，無論精度或功能也勢必愈趨嚴苛，因此高精度能用以製造微小複 雜形狀的加工機及其加工技術的發展，將在全球微系統技術佔有不可或缺 的重要地位。 圖 1 微系統技術之全球發展趨勢 目前微切削可以在特殊設計、價格昂貴的機密工具機上進行 [2] ，如日 本 FANUC 公司的奈米級複合型加工機。日本有開發微工廠技術進行微切 削加工，但工件尺寸受限，且裝卸困難 ，目前僅在實驗室中顯示出具切削 能力，但並未有實用化之報導。在微加 工領域中，微放電技術具有加工單 位容易微小化、具高自由度且容易達到高精密度等特點，可以用來加工微 細孔及複雜 3D 造型，所以也最受重視，國外知名廠商也對微放電加工機 極有興趣。用以加工微模具的精密微細電極一般是以線放電研磨 (wire electro-discharge grinding, 簡稱 WEDG) [3] 法製作，此法為東京大學增澤隆 久教授提出，如圖 2所示，欲修之電極夾於一旋轉軸 上，研磨線極以一導 1 具支撐著，將其與欲修之電極通上不同極性之電，並讓其接近產生放電之 作用，如此可以將旋轉電極之材料去除 。類似一般之線切割放電加工，利 用不斷補充的新的研磨線來與旋轉電極 進行放電加工，而加工時又沒有作 用力，因此可以得到與主軸旋轉同心的微細電極，以用來做後續之微放電 鑽孔或微放電銑削，線放電研磨之機構簡單，但僅適於單一直徑之線，且 不方便於製作不同尺寸之微電極。針對放電銑削時之電極消耗，余祖元等[4] 採取層狀加工之方式進行。此技術移轉給 Panasonic 公司後做出之機器價 格昂貴，每部超過 1000 萬台幣 [5] 。日本Mitsubishi 公司之 EDSCAN [6] 採用空心的 Cu-W 微小管材電極，加工方式是以一層一層的方式進行消耗 式電極的微放電加工，並控制電極的消耗在底部發生。加工速度會提高， 但電極的消耗量會很快 [7] 。瑞士的Agie 公司亦已針對微小模具的開發而 發展出微放電加工機 [8] 。Agie 公司以超細長的碳化物材料當電極，對微小 模具進行微放電加工，因使用的電極較長，故幾乎可全天候加工。瑞士 Charmillers 公司於 1995 年即已研發出放電銑削加工機 [9] ，但因限於商業 機密，故未見相關研究文獻。爾後針對微小模具的加工，研發出微線切割 與微放電共集於一機的雙用型放電機器 ，微細通孔、盲孔、微細溝槽等， 均可容易地被加工[10] 。瑞士Sarix 公司於去年度台北國際工具機展展出之 微放電加工機，僅基本配備即需 700 萬台幣以上，若添購其他周邊，則動 輒千萬台幣 [11] 。在國內，國立雲林科大郭佳儱教授於民國86 年開發出微 小 CNC 綜合放電加工機，並進行 3D微小零組件的放電加工研究 [12] ，但 機器架構與東京大學者相同。中央大