一种大功率激光加工用带式积分镜的设计 - 北京工业大学学报.pdf

一种大功率激光加工用带式积分镜的设计 王智勇，陈虹，左铁钏 (北京工业大学激光工程院，国家产学研激光技术中心，北京100022) 摘要：介绍了一种新型大功率激光加工用光束带式积分镜的设计原理和实验结果．根据几何光学原理，采用 多条带式曲面代替通常反射镜的回转曲面，形成带式积分镜．试验结果表明：激光光束经聚焦后，获得光强均匀 分布的矩形光带，改善了激光热处理、淬火、熔敷和喷粉焊接等的激光加工质量． 关■词：激光加工；大功率激光束；积分镜 中圈分类号：TN249 文献标识码：A 文章缡号：0254一0037(2002)03一0334～03 在大功率激光热处理、淬火、熔敷和喷粉焊接中往往需要把激光束变换成一定功率密度均匀分布的矩 形光斑，以提高激光加工的质量．目前通常采取离焦光斑、振镜扫描、旋转多棱镜扫描、波导积分镜和方形 积分镜变换等5种方法来获得…．其中使用较为成功的是方形积分镜“J，它是在球面镜基体上采用环氧 树脂粘上等尺寸的方形小镜片．但制造复杂，粘结剂在高功率激光束的照射下易退化变质，小镜片在高功 率激光束的照射下将吸收激光的热量，粘结剂不易散热，将造成小镜片的变形而引起差的聚焦质量、并且 小镜片周边的方孔衍射和各镜片的反射光之间的干涉将造成光斑内存在光强弱相间的干涉带，影响使用 效果．车文舟绍的带式积分镜克服了方形积分镜的缺点，制作简单，可采用高精车在球面或非球面基体上 一次加工成型，避免了因大功率激光照射所引起的镜面变形． 1 设计原理 带式积分镜的设计原理是在与球面或非球面(如抛物面、椭圆面、双曲面等)反射聚焦镜的回转方向相 垂直的方向上采用多带反射斜面代替曲面．这样，经反射后，矩形焦斑的一个边的长度由反射斜面的长度 决定，另一个边的长度由离焦得到．下面以抛物面反射镜为例来说明设计原理． 图】为抛物面形带式积分镜光路设计原理图．抛物 面与入射激光束呈45。夹角，在抛物面中心点07．人射激 光柬与出射激光束的夹角为90。，而抛物面的焦点在F处， 焦距为r，则F点的坐标为F(r，2，0)．采用直线段替代抛 物面弧线后，各直线段分别将激光束反射到抛物面聚焦焦 点处形成长度为n的线段cD，也就是所设计的矩形焦斑 的长边．直线段』日与抛物线相外切；由于切点D7在抛物 线上，经该点的光线将被反射到焦点上，而焦点在线段cD 0 cFD 的中心，根据反射原理，切点07又是直线段仰的中心． 卜_ 所需要解决的问题是如何确定多条反射斜线两个端 图1带式成型聚焦反射镜设计原理图 点的坐标，或者各条斜线的斜率及其截距，从而能够准确 收稿日期：2002．01．07． 基金项目：北京市科技新星计划基金资助项目(954810900) 作者简介：王智勇(197¨)，男，副研究员，博士． 万方数据 j篓垡L—————一一 兰塑要兰!二塑查堕皇墼些塑三旦堂苎塑堑塑塑堡盐 !塑 地将原始激光束会聚在加工所要求的聚焦范围内． 图1中，抛物线方程为y2=2／*其中，为抛物线的焦距，』轴就是激光反射回转轴．根据抛物线的定 义，首先确定特殊点‰，，。)，到达这一点的平行光将被垂直反射到x轴上，并且与x轴的交点坐标为(r／2， O)；然后“这一点为中点，作一条斜率为45。的直线，这样就可以保证到达该直线的激光束均垂直反射到x 轴，即加工面上．然后再为这条直线选择合适的长度，使得达该直线的两个端点的激光束恰好反射到所要 求的加工范围的边缘．满足以上条件的直线即为图中的直线‘，后面的计算都要以它为基准．由于抛物 线有一系列的外切线段，首尾相连，实际上就是经过反射面回转轴的平面与多带反射斜面相交而得到的多 条斜线．它们将入射的激光束均恰好反射到所要求的加工范围内，如图l所示． 下面将作出一些基本的假设，使计算相对方便．设直线，。两端点以及中点的坐标分别为 O)、(，，2+口／2，0)．这里．口表示所要求的加工范围的长度，即聚焦后矩形光斑的