大连理工传感器原理与应用-第9章-51.pptVIP

;第九章;; 第九章 半导体传感器 ;气敏传感器： 通过气-电转换来检测气体类别、浓度和成分的传感器。 按构成气敏传感器材料可分为： 半导体和非半导体两大类。 目前半导体气敏传感器实际使用最多。;半导体气敏传感器分类: 按照半导体变化的物理特性又可分为：电阻型和非电阻型。;二、电阻型半导体气敏传感器;二、电阻型半导体气敏传感器;（1）烧结型气敏器件 氧化物半导体材料为基体，铂电极和加热丝埋入材料中，用加热、加压的制陶工艺烧结成形。因此，被称为半导体陶瓷， 简称半导瓷。半导瓷内的晶粒直径为1μm左右，晶粒的大小对电阻有一定影响，但对气体检测灵敏度则无很大的影响。;（2）薄膜型气敏器件 采用蒸发或溅射工艺，在石英基片上形成厚度约100nm氧化物半导体薄膜，制作方法简单。 半导体薄膜的气敏特性最好，但半导体薄膜为物理性附着，器件间性能差异较大。;二、电阻型半导体气敏传感器;（2）旁热式气敏器件 加热丝放置在一个陶瓷管内，管外涂梳状金电极作测量极，在金电极外涂上氧化物半导体材料。;气敏传感器暴露在各种成分的气体中使用，会使其性能变差。 原因： ① 工作条件恶劣，检测现场温度、湿度的变化很大，又存在大量粉尘和油雾等； ② 气体对传感元件的材料会产生化学反应物，附着在元件表面。 要求气敏器件：长期稳定工作，重复性好，响应速度快，共存物质产生的影响小等。;（2）气敏器件的灵敏度 ① 电阻比灵