夹持方式对镜面热变形及偏转的影响-强激光与粒子束.PDF

! 第# 卷! 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 $%’ # ，(%’ ! ! )**+ 年 月 ,-., /0123 45623 5(7 /538-942 :25;6 =’ ， )**+! 文章编号：! **?@A))（)**+ ）*?**)B?*@ 夹持方式对镜面热变形及偏转的影响! 余文峰，! 孙! 峰，! 程祖海，! 刘倚红，! 周次明，! 张耀宁 （华中科技大学 激光技术国家重点实验室，湖北 武汉@A**#@ ） ! ! 摘! 要：! 在高功率激光辐照下，激光腔镜的夹持方式对热变形和偏转有很大影响。在理论上，采用5(? 6C6 软件计算了硅镜（D* EE F ) ’ + EE ），在特定辐照条件（** 1 ，@* EE 、均匀、同轴、+ G ）下的不同夹持方 ! ! 式下的热变形，径向固定的热变形镜面峰谷值（* ’ *B A E ）小于轴向固定的热变形峰谷值（* ’ AD D E ），三 点固定的（ * ’ ) E ）介于二者之间。在实验上，硅镜（#+ EE F ) ’ + EE ）在特定辐照条件（** 1 、光斑椭圆 ! # EE F )* EE ，+ G ）下，压圈法（径向固定）的热变形为* ’ A) E ，镜面倾斜角为* ’ HA I=J ；压板法（轴向固定） 的热变形* ’ @B E ，镜面倾斜角为* ’ )D I=J 。当采用三点锥孔定位法时，通过干涉条纹可发现镜面偏转减少。 ! ! 关键词：! 高功率激光器；! 热变形；! 镜面偏转；! 夹持方式 ! ! 中图分类号：! #$)@D! ! ! ! 文献标识码：! 5 ! ! 在设计、加工米级以上的大口径光学系统时，为适应光学元件的大口径、大重量、高精度面形要求，设计复 杂的支撑结构以减小对镜面面形的影响是一项重要课题。:KLM=E［］认为，为了保证大口径光学元件的稳定 ［) ］ 性，必需对夹持系统的接触受力点、弹簧张力大小和温度稳定性等方面进行评估。中科院成都光电所 用5? L%I 软件模拟了不同夹持方式下大口径轻质镜自重导致应力的不均匀性和镜面变形。 ! ! 对于高功率激光器，腔镜的热变形严重影响激光光束质量。镜面热变形主要由材料受热沿轴向的线膨胀、 温度变化产生的热应力引起的形变和因镜体周边受限不能自由膨胀而产生的挠曲变形等三部分组成。因此， 当腔镜尺寸和结构确定以后，镜体的夹持方式就成为关键问题［A N + ］。 ! ! 在实际应用中，常采用机械式夹持圆形腔镜，它对热变形的影响实质就是热弹性体的边界条件效应。常用 ［H ，# ］ 的夹持方式有压弹簧圈法和压板法固定腔镜，特殊情况下也采用三点支撑。材料刚性越大则变形就越小 。 在常用的腔镜基底材料如紫铜、钼、单晶硅和熔石英等物质中，单晶硅的刚性最大，抗压能力较高，膨胀系数低 和热导率高，因此本文选用硅做为腔镜基底材料。在图 中的三种方式中，图（= ）为压弹簧圈法（径向固定）， 图（O ）为压板法（轴向固定），图（P ）为三点支撑。 QKL’ ! 6PMRE=SKPG %T SMIRR P=EUKL ERSM%JG 图! 三种腔镜夹持方式示意图 ! !