用激光干涉仪测量三坐标测量机的动态特性.PDFVIP

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2017-06-30 发布于天津
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用激光干涉仪测量三坐标测量机的动态特性.PDF

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用激光干涉仪测量三坐标测量机的动态特性

1998 9 　　　　　 31　 5 　　　　　　　　　　　　 Sep. 199 8 JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY 　V o l. 3 1 N o. 5　 * 董晨松　穆玉海　张国雄 () 　　提出了一种用激光干涉仪测量三坐标测量机动态误差的方法,分析了激光干涉仪的测量原理并分别对描测量和触发测量中的动态误差进行了模拟测量. 实验结果表明,运动中的加速度产生的附加惯性力是产生动态误差的重要因素. 由于惯性的原因, 描测量中换向时产生的误差大约是同样条件下惯性力造成误差的 2倍. 　, ,, , 　 161. 3 T H ASSESSING THE DYNAMIC CHARACTERISTICS OF CMMS WITH A LASER INTERFEROMETER Dong Chensong　Mu yuhai　Zhang Guoxiong ( Schoo l o Precisio n Inst ruments a nd O pto elect ro nics Engineering , Tianjin U niv er sity ) 　 Abst act A method o mea suring th e dy namic er ro rs o CM M s w ith a la ser inter ero meter is giv- en in this paper. The w o rking principle o the laser inter ero meter is a na ly zed and the dynamic er- - . ro rs ar e measured in the scanning pro bing a nd touch trigg er pro bing r espectiv ely The r esults show that accele ratio n or ce is th e sig ni icant acto r cau sing dynamic er ro rs . W hen the probe cha ng es its directio n in the scanning measurem ent the er ro r is abo ut tw ice as much as that ca used by the same accelera tio n o rce due to the in luence o iner tia. Keywo ds　la se r inter e rom eter, coo rdina te measuring machine ( CM M ) , dynamic er ro r, scanning probing , to uch -trigg er pr obing 　　., . 、 ,. , . , ,,. 　　　　 1996 12 24. 1997 3 17. 　* 　　 2 1( 9637022 11) . 　* * 　1972, , . Born i n 1972, mal e, doctoral st udent. ·622· 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1998 9 . 　　 . 1　　　( 1) . x , y , z , . 700 × 600 ×400 ..