负离子元素杂质破坏模型-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’’ 3 ##( 3 ， ， ， C4. ,’’ K4 ,3 F57L. ##( （ ） !###D%#E##(E’’ #3 E !$/D#3 F-GF H)I?J-F ?JKJ-F ##( -9L , H9MN , ?4O , !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 负离子元素杂质破坏模型 ）） ） ） ! ! ! 吴师岗 邵建达 范正修 !）（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 #!$## ） ）（中国科学院研究生院，北京 !###% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##’ ( !( ##’ !# $ 探讨了 薄膜中负离子元素杂质破坏模型，并得出薄膜中的杂质主要来源于镀膜材料 用电子束蒸发方 )*+ , 法沉积两种不同 元素含量的 薄膜，测定薄膜弱吸收和损伤阈值来验证负离子元素破坏模型 结果表明，随 -. )*+ , 着 元素含量的增加薄膜的弱吸收增加损伤阈值减小 这主要是因为负离子元素在蒸发过程中形成挥发性的气 -. , 源中心而产生缺陷，缺陷在激光辐照过程中又形成吸收中心, 因此负离子元素的存在将加速薄膜的破坏, 关键词：负离子元素杂质，缺陷，吸收 ： ， ， !## /!’’ $!!’0 $!!#1 从而使材料熔融甚至汽化，这就会在材料中出现大 量非连续的损毁区域 文献［ ］得出了薄膜材料和 !2 引 言 , !! 杂质的温升, )*+ 镀膜材料具有折射率高、吸收系数低、良 目前研究人员采取了多种方式来减少薄膜中的 ［ ， ］ 好的热稳定性和机械强度以及高的抗激光损伤特 杂质，但主要集中在薄膜本身，如退火! !% 和激光预 ［ ］