采用相位调制方法的光纤干涉仪.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 25 　 4 　 Vol.25　No.4 　 　　　　　　 　　　　　 　　　　　O ticsandPrecisionEnineerin 年 月 p g g 2017 4 　 　 　 A r.2017 p 文章编号 ( ) 　1004-924X201704-0820-07 采用相位调制方法的光纤干涉仪 ∗ , , 倪 畅 张 鸣 朱 煜 　 　 　 ( , ; 1.清华大学 摩擦学国家重点实验室 北京 100084 , ) 2.清华大学 精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 北京 100084 : , 。 , 摘要 为了实现小巧紧凑且使用灵活的大量程位移测量 提出了一种采用相位调制方法的光纤干涉仪 首先 介绍相位 , , , 。 , 调制方法 分析内调制与外调制的特点 指出由于内调制的局限性 外调制更适于较大量程的位移测量 然后 用数学推 , 导和 MATLAB仿真对已有的位移解算算法中的反正切法与微分交叉相乘法进行分析 证明在毫米级量程的位移测量 。 , , 。 : 中反正切法优于微分交叉相乘法 最后 搭建了采用相位调制方法的光纤干涉仪 并进行了实验验证 实验结果表明 , , 相比于微分交叉相乘法 反正切法更适用于毫米级以上量程的位移测量 基于相位调制的光纤干涉仪在毫米级步进运动 , , 。 中的相对误差最大为 255.21nm 标准差为 78.56nm 基本满足高精度大量程的位移测量需求 : ; ; ; ; 关 键 词 光纤干涉仪 相位调制方法 相位调制 位移解算 反正切法 　 　 中图分类号: ; 文献标识码: : / O436.1TH744.3　　 A　　doi10.3788OPE0820 Fiberinterferometerbasedon haseeneratedcarriermethod p g