PE蝶阀与挡板阀的快速拆装.docVIP

蝶阀与挡板阀的拆装 图一PE主机台 炉管降温 在工控机操作界面中，将炉管温度由原来的450°设置为200°。 真空泵的吹扫 2.1抽真空；将反应压力设为0，关掉N2输入，打开预抽，当压力小 于500时，关掉预抽，打开主抽，直到管内为真空状态（压力小于 40mtorr）； 2.2设置N2输入为8000，反应压力为1700mtorr； 2.3将真空泵的N2稀释阀调到最大约84.4pam3/S；吹扫至少进行 20min。 图二 真空泵 关真空泵 3.1点操作面板的stop，选择关闭真空泵（并非延时关闭）； 3.2拉下真空泵的黑色电源开关，并且将真空泵的冷却水关掉，保持 真空泵的N2为打开状态。 工具的准备 一套开口扳手（主要使用7mm、12mm、13mm、14mm） 一套内六角（主要使用5mm） 小、大型一字螺丝刀各一把 一小桶酒精、扎带或胶带、无尘纸若干 一个吸尘器、一个插线排、一支记号笔、一个收纳盒。 技术资料 每个机台有四根管，每根管有单独的真空系统（第一、二管使用135°短管与挡板阀、蝶阀连接呈倾斜状，如图三；第三、四管取消135°短管呈垂直状，如图四。）彼此之间使用勾形夹连接。 图三 倾斜连接 图四 垂直连接 (蝶阀 (挡板阀 (135°短管 6.拆装顺序 图五 6.1将电磁阀下方的黑色塑料螺帽柠开，取下电磁阀端头；取下电磁阀左侧的两个黄色消声器，拆下真空气管（使用12、14的开口扳手）并用扎带或胶带将气管打折，防止气管冲击将人打伤。 6.2按蝶阀电源线、传感器线或通讯线的D型公插头以及地线的顺序依次拆除。 6.3短管与挡板阀连接处和短管与蝶阀连接处的勾形夹松开，取下蝶阀和挡板阀用酒精和无尘纸进行清理，取蝶阀与挡板阀时需两人配合，一人扶着，一人上下，左右来回晃动，不得暴力拆除。每拆除一管做相应的标记，以便于安装。清理时发现有密封圈损坏的要及时进行更换，以免重新安装会影响真空度与漏率。 如果拆装的第一、二管，将135°短管拆下，并把直管固定座松开，为了蝶阀与挡板阀安装的配合，即先将拆下来的135°短管与蝶阀挡板阀进行组装，然后将三部分组装好的整体进行安装。安装时，先进行短管（炉门侧）与挡板阀的搭接，再通过调整真空管进行安装，最后将勾形夹和直管固定座的所有螺丝打紧，安装完成进行测漏。 7现场整理 将工具放于工具箱内，其他器械放于指定区域，用过的无尘纸放于指定的垃圾桶内，清理的生成物用吸尘器清理，最后用酒精润湿的无尘纸清理机台和地面。 8注意事项 8.1炉管必须降温，防止烫伤和发生火灾； 8.2拆除下的小物体放于收纳盒，防止丢失； 8.3安装时密封圈、管口进行沾有酒精的无尘纸清理，密封圈不得漏 装和不装； 8.4不得暴力拆装，防止伤人损物。 8.5不得湿手插拔电源插头。 编者：香烟籴泪痕 *文中有什么不对的地方，还请您多多指教，谢谢* PD380B管式PECVD 真空泵 真空管路 STOP N2稀释阀 电源开关 冷却水 2 3 1 1