(机电一体化技术课件)第四章传感器及自动检测.ppt

直线 位移传感器及位移检测 （5）光栅尺 直线 位移传感器及位移检测 （5）光栅尺 3、应用 直线 位移传感器及位移检测 （5）光栅尺 3、应用 目前在精密机加工和数控机床中采用的精密位移数控系统框图如图1所示。 直线 位移传感器及位移检测 （5）光栅尺 随着电子技术和单片机技术的发展，光栅传感器在位移测量系统得到广泛应用，并逐步向智能化方向转化。 图2是利用光栅传感器构成的位移量自动测量系统原理示意图。 直线 位移传感器及位移检测 该系统采用光栅移动产生的莫尔条纹与电子电路以及单片机相结合来完成对位移量的自动测量，它具有判别光栅移动方向、预置初值、实现自动定位控制及过限报警、自检和掉电保护以及温度误差修正等功能。 下面对该系统的工作原理及设计思想作以介绍。 直线 位移传感器及位移检测 2 电子细分与判向电路 　　光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位移量进行测量。 目前高分辩率的光栅尺一般造价较贵，且制造困难。 为了提高系统分辩率，需要对莫尔条纹进行细分，本系统采用了电子细分方法。 当两块光栅以微小倾角重叠时， 在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹，随着光栅的移动，莫尔条纹也随上下移动。 这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量，同量莫尔条纹又具有光学放