透明导电膜玻璃.pdfVIP

维普资讯 中 国 玻 璃 1990年第3期 透 明导 电膜玻璃 杨绍群 秦皇岛耀华工业技术玻璃厂) 【摘要】随着玻璃深加工工业的迅速发展，常用的羁丝 电加温玻璃逐渐被透明 导 电暖玻璃所代替 。本文阐述 了该镀膜玻璃 的光学特性 ．电学特 p_·-及物化性质等 。 介 绍 了透 明导 电膜玻 璃 的应用和 制备 方法 。 系 ，掺锡多少都会使透射率下降。通过试验 选定含锡量为 l％一舯 ％都能获得较满意的 所谓透明导电膜玻璃，是以玻璃为基片． 结果。 镀 以氧化物、金属或氧化物一一金属一一氧 图 1为ITO膜在波长 0．5,um处的透 化物复台膜等而制成的既导电叉透明的盟 射率与锡掺杂含量的关系 。在锡掺杂为5％～ 越 lO％时，透射率最好；在7％时，透射率最 光学材料中，在可见光区内透 明的材料 高 大于l0％时，透射率开始下停 。 很多，如 ：Sn02．In203、Au、Pt．CaS、 CdO、ZnO．ZnS、CdS、LaB6及钨青铜等6O余 种 ，但能满足既透明叉导 电两方面要求的， 还是以 In203、Sn02为好，并以掺锡氧化 铟透明导电膜 (简称 lT0膜)为最佳。 lTO膜玻璃是70年代发展起来的新型 镀膜玻璃 。ITO膜在可见光区 (350～150 nm)具有透射率高(T5％)与导电性能好 (电阻率可达 lOI。～J0 n ·cm)，对红外 线具有反射能力 (80％)，对紫外线具有 ● 吸收能力．对微波具有衰减能力 t85％) Sn(％) 等优异特性，用途广泛 。如用于加工 电加温 ● 安全玻璃、液晶显示玻璃 、场致发光玻璃 、 图 l ITO膜的透射率与锡掺杂量的 太阳能电池玻璃 、热反射玻璃等= 关系 (波长0．5,um) 二 、ITO 膜 的特性 图2是锡掺杂 lO％的IT0膜的逶射率 随波长的变化曲线。透射率在波长为O．3,um 1．光学特性 处突增，在 O．5,um尉近达最大值，在近红 ITO膜的透射 率与掺锡量有 密切关 外区仍相当高。 维普资讯 3期 中 国 玻 璃 从图2也可以看出．ITO膜对紫外 的情况=掺锡量为 J％～】0％时电阻率较低， (0．3 rn，线的透射率很低： 并以 7％为最低 (1．56×10-4n ·cm)。这 是因为lTO膜是锡掺杂的杂质半导体，室 温下施主杂质上的所有电子几乎都被离化成