水汽含量分析仪的研制论文.pdfVIP

第2 v01·2 c谱tro and 006卷器背6年7月 光Spectroscopyc学opy与光谱分析SpectralAnalysis July,20065。296 水汽含量分析仪的研制 高晓明，曹振松，黄腾，樊 宏，谈 图，邓伦华，张为俊，龚知本 中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽合肥230031 摘要文章报道了基于近红外二极管激光吸收光谱技术的水汽含量分析仪的研制，系统由嵌人式工控机、 cm、光程 l_3l“121二极管激光器、激光控制器、数据采集分析系统和长程吸收池几个单元组成。利用长80 ]00 605 605．03， m的Herriott吸收池测量了7era-1频率附近的大气吸收光谱。利用Lorrenrzian线型对7 7 607．213 605．83，7 cm_1三条谱线进行拟合计算大气水汽含量，得到的大气水汽分子数密度为6．3×10” molecule·cm，对应水汽分压为17．86Torr。利用该系统作者测量了24h内大气水汽含量的变化规律。 主题词=极管激光；吸收光谱；水汽；探测灵敏度 中圈分类号：0433．4文献标识码：A 文章编号：1000—0593(2006}07—0295—02 大气中水汽含量随时问、地点、纬度和高度等影响变化 数据点，因而可以很好地满足线型拟合和谱线参数的获得。 极大，在半导体工业、医药等行业中，大气中水汽含量的控 采用池长80cm光程100m的Herriott吸收池，利用气 制对其产品的质量至关重要”J，因此水汽含量的高精度测量 泵循环抽取室外到吸收池内，空气中的气溶胶粒子经过滤器 及实时控制是实现高品质产品的保证，传统的水汽测量手段 过滤掉，以免污染吸收池镜片。二极管激光通过Herrlott池， 605 能够很好地满足高浓度水汽的测量，但在某些特殊对水汽含 出射光被聚焦在探测器上进行探测。激光器在7 cm_1频 量要求极高的行业，这些探测手段难以满足要求而制约了这 率附近进行扫描，记录下这段范围内的大气吸收光谱(见 些行业的产品品质的进一步提高。随着近红外二极管激光器 图2)，通过基线拟合得到该波段的大气吸收光谱，如图3所 的发展，以激光吸收光谱为基础的光学传感技术具有高灵敏 示。利用Lorrentzian线型对该波段范围内的谱线进行拟合 度、高选择性、快响应和低成本等优点而得到广泛的应用。 来计算大气中的水汽含量，这个波段范围内的三条谱线分别 607．213 本文介绍了大气水汽含量分析仪的研制，图1为系统的 为7605．03，7605．83，7 cln～1。它们的谱线强度是 5×10“cm 原理框图，系统由嵌人式工控机、二极管激光器、激光控制 1．32×10”c122／molecule．8．8861／mole— 器、数据采集分析系统和长程吸收池几个单元组成。光源为 cule，5．345 NEL公司生产的1．3ltan的二极管激光器，利用ILXLight wave公司生产的LDT-5100和I．DX-3100温度、电流控制板水汽分压为17．86Tort。利用该系统我们测量了24h内大气 进行控制，采用温度扫描方式在水汽强吸收峰位置改变激光 频率。在实际大气条件下，测量的每条谱线大约能够有40个