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微型FA IM S生化传感器的设计与制作
8 6 Vol. 8 No. 6
2010 11 Nanotechnology and Precision Engineering Nov. 2010
FAIM S
1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2
李 华 , 唐 飞 , 王晓浩 , 林镇翔 , 张 亮
( 1. , 100084; 2. , 100084)
: 根据高场非对称波形离子迁移谱( highfield asymm etricw aveform io mob ility spectrom etry, FAIMS) 原理, 设
计了一种微型生化传感器. 采用真 紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行电离, 紫外灯发射的光子能量为
106 eV, 波长 1165 m. 迁移区由上下两块紫铜金属平板电极构成, 尺寸为 10 mm 10 mm 1 mm. 完成了高场非
对称方波电源的设计, 所输出的射频电压最大值为 1 180 V, 最小值为 - 480 V, 频率 189 kH z, 占 比 30% . 以丙酮
为实验样品, 通过高场非对称波形离子迁移谱质谱联用技术进行传感器的性能验证实验, 实验结果表明所设计的
基于 FAIMS原理的生化传感器可以实现离子分离和过滤功能. 基于 S IM ION 软件对FAIMS生化传感器进行仿真分
析,仿真与实验结果相符. 最后利用硅片双面感应耦合等离子体( i ductively coup led plasm a, ICP) 刻蚀和硅玻璃键
合工艺, 加工出基于微机电系统(m icro electrom echa ical system, MEM S)技术的微型 FAIMS传感器芯片. 采用频率
2 MH z最大电压 364 V占 比 30% 的高场非对称方波电压进行 FA IM S芯片实验. 载气流速 80 L /h, 补偿电压从
- 10 V ~ 3 V以 01V 的步长扫描, 得到了丙酮的 FA IM S谱图, 验证了芯片的性能.
: FA IM S; ; ; SIM ION; (MEM S)
: TP3016 : A : 2010)
Design and Fabrication ofM iniature FAIM S Biochem ical Sensor
1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2
LIH ua , TANG Fei , WANG X iaohao , LIN Zhe xia g , ZHANG L ia g
( 1. Departm e t of Precisio I strum e ts a dM echa ology, Tsi ghuaU iversity, Beiji g 100084, Ch i a;
2. StateKey Laboratory of Precisio M easurem e t Tech ology a d I strum e ts,
Tsi ghua U i
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