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柱式平板声子晶体点缺陷模式研究 - 压电与声光
第 卷第 期 压 电 与 声 光
年 月
文章编号
柱式平板声子晶体点缺陷模式研究
黄翔宇 刘永顺 舒风风 武俊峰 吴一辉
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林 长春 中国科学院大学北京
摘 要柱式平板声子晶体结构有利于实现质量加载和液相检测该文提出并制备一种柱式平板声子晶体点
缺陷采用有限元法进行禁带计算分析仿真出该声子晶体点缺陷模式的振型采用微机电系统 工艺制
备出硅基 声波传感器通过电极构型的模式选择对选定点缺陷模式的性能进行了测试分析结果表明通过
合理设计激励电极可获得较高频率声子晶体点缺陷模式实验中选择激发的模式频率为 其对应空气
中品质因数 这为实现液相检测提供了理论基础和实验依据
关键词声子晶体柱式平板点缺陷选择性激励工艺加工
中图分类号 文献标识码
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