第十二章 扫描电子显微分析1.pptVIP

3.1 扫描电子显微分析 3.1.1 概述 扫描电子显微镜(SEM)是继透射电子显微镜之后发展起来的一种电镜，它与透射电镜的成像方法不同。 扫描电镜实际上就是利用聚焦的电子束在样品表面上采用扫描的方式扫描，将电子与样品相互作用产生的信号作为调制信号同步扫描显示在显象管上。典型的扫描电镜见图3－1。 3.1.2 扫描电镜的结构 扫描电镜的基本构成如下： (1) 扫描电镜电子光学系统(镜筒) (2) 扫描系统 (3) 信号探测放大系统 (4) 图像记录系统 (5) 真空系统 (6) 电源系统 扫描电镜的基本结构示意如下图3－2: 3.1.3 扫描电镜的图像来源 扫描电镜的图像来源于所探测的信号，信号不同所反映的图像的衬度及信息亦不相同。 (1) 二次电子像 A. 什么是二次电子? 定义：它是单电子激发过程中被入射电子轰出试样外的 原子核外的电子。 二次电子是相对于入射电子而言。入射电子在试样内产生二次电子是一个连续激发的过程，也就是说具有足够能量就可以产生二次电子，这个过程连续不断，直到能量不够为止。一般来说： 一个20KV的入射电子激发几十个二次电子。入射电子在试样内扩散情况见图3－3。 B. 二次电子的特点 1. 二次电子能量较小?5