980nm 半导体激光器n型波导结构优化 - 强激光与粒子束.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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980nm 半导体激光器n型波导结构优化 - 强激光与粒子束

第卷第期强激光与粒子束 , 26 10 Vol.26 No.10 年月 , 2014 10 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Oct. 2014 半导体激光器型波导结构优化* 980nm n , , , , , 安宁芦鹏魏志鹏李占国马晓辉刘国军 ( , ) 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室长春 130022 : , 摘要为了提高半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角在非对称波导结构的基 980nm , 。础上设计了型波导结构即在型波导中引入高折射率的内波导层采用理论计算和软件模拟 n n SimLasti p 。对常规非对称波导结构和内波导结构进行了研究利用分子束外延系统生长 980nm内波导结构的外延材 , 。、 , , / 料并制作了激光器对于条宽为 100 m 腔长为 1000 m的器件阈值电流为 97mA 斜率效率为 1.01W μ μ ; , ( ) ( ), 。 A 当注入电流为500mA时远场发散角为29°垂直向 ×8°水平向与模拟结果相符理论计算和实验结 : , , , 。果表明较之于常规非对称波导结构内波导结构可有效降低光场限制因子提高输出功率减小远场发散角 : ; ; ; 关键词半导体激光器输出功率内波导远场发散角 980nm 中图分类号: 文献标志码: : / TN248.4 A doi10.11884HPLPB201426.101015 [ ] 1-2