等离子体处理作用和介绍.pptVIP

等离子体表面处理技术讲座 -----深圳奥坤鑫科技有限公司 网址 制作人：钟 娅 1、什么是等离子体及怎样建立等离子体； 等离子体 (中文) = PLASMA (英文) = 电浆 (台湾) 等离子体的发现: 1879、英国物理学家、 William Crookes----物质第四状态 1929、美国化学物理学家、 Langmuir----等离子体 等离子体定义： 部分或是全部电离的气体； 主要包括：电子、离子、中性基团、分子、光子 固体 ? 液体 ? 气体 ? 等离子体 能量 能量 能量 等离子体的形成 物质的四种状态 什么是等离子体 等离子体成分,对外呈现电中性 物质的第四种形态 低温等离子体的建立系统(PCB行业);水平式和垂直式 等离子体工业生产模型 产生低温等离子体系统 等离子体主要作用：清洁、蚀刻和改性 清洁：去除表面有机物污染和氧化物 蚀刻：化学反应性蚀刻、物理蚀刻 改性：粗化、交联 2、等离子体在现代工业中的主要用途 等离子体的主要用途： 半导体IC行业 蚀刻小孔，精细线路的加工 IC芯片表面清洗 绑定打线 沉积薄膜 纺织行业 纺织纤维表面改性； 生物和医疗行业 半透膜表面亲水的改性； 医疗器械的清洁； 镀膜 物理气相沉积（