微惯性技术(第二讲)惯性元件.ppt

惯性器件元件;主要内容;微加速度计;加速度计概述;加速度计的原理;外部加速度对质量块发生作用，然后通过测量质量块的位移、质量块对框架的作用力，或保持其位置不同所需的力来得出加速度值。;1.2 基本工作原理;加速度计的种类很多，由发展时间的先后依次是:三、四十年代的摆式积分陀螺加速度计和宝石轴承摆式加速度计，六十年代中期开始发展起来的液浮摆式加速度计、挠性加速度计、压电加速度计、电磁加速度计等，七十年代以后是静电加速度计、激光加速度计，目前，除了上述各类加速度计不断改进提高之外，其它基于新支承形式、新材料、新工艺的加速度计正在迅速发展。 ; 加速度计分类 按惯性检测质量的运动方式分类，可分为线加速度计和摆式加速度计； 按支撑方式分类，可分为宝石轴承支承加速度计、液体悬浮支承加速度计、气体悬浮支承加速度计、挠性支撑加速度计、磁悬浮支承加速度计和静电支撑陀螺加速度计等； 按有无反馈信号分类，可分为开环加速度计和闭环加速度计； 按加矩方式分类，可分为模拟加矩式加速度计和脉冲加距式加速度计； 按敏感信号方式分类，可分为电容式加速度计、半导体压阻式加速度计、电感式加速度计、压电式加速度计； 按工作原理分类，可分为振弦式加速度计、摆式陀螺加速度计等。;（1）液浮摆式加速度计;（2）挠性加速度计;（3）摆式积分陀螺加速度计(PIGA);1.3 微加速度计的分类;按检测质量支承方式来分： 有扭摆式、悬臂梁式和弹簧支承方式;按控制方式来分： 有开环式和闭环式。 ;根据梁的个数 单梁结构、单端双梁结构、双端双梁结构、多梁结构 ;;根据敏感轴数量 单轴、双轴、三轴;按信号检测方式来分 压阻效应 电容效应 隧穿效应 压电效应 电感效应 谐振效应 热效应 光学效应;1.1 压阻式加速度计;典型压阻式微加速度计结构图;压阻式微加速度传感器温度补偿电路设计;漂移电压源灵敏度温度补偿 ;1.2 电容式加速度计;电容式传感器需掌握的几个公式;1.2.1 平板电容式加速度计 ;图a;4.2.2 扭摆式微机械加速度计 ;;动极板角位移引起敏感极板电容量的变化为 ;4.2.3 梳齿式电容微机械加速度计 ;;在没有加速度输入时 加速度a作用时, 摆片将移动一个小位移 ;4.2.3 用于微弱差动电容的检测方法 ;4.3 隧道式微机械加速度计 ;实验发现，当这两极间距减少0.1nm，隧道电流将增加10倍，利用这种效应可以测量加速度。电子隧道型加速度计通常由检测质量、支承梁、隧道探针和控制电路等部分组成。它的工作原理是，当被测加速度使检测质量与隧道探针之间距离发生变化时，两极间将产生巨大的电流变化，检出这一变化信号就可测得加速度。 ;特点 极高的灵敏度 不受稳定影响 低频噪音太大 必须闭环工作;;;信号检测;4.4 谐振式加速度计;工作原理;加速度传感器的分辨率跟下列因素有关： （1）加速度计的加工工艺。 工艺精度越高，加工出两个谐振梁的特性可以更加接近，固有频率近似相等，即可以大大地提高传感器输出信号的分辨率。 （2）谐振梁本身的特性有关。相应地增大两个谐振梁刚度，提高谐振梁的固有频率，也可提高传感器的分辨率，但梁刚度则又影响到了加速度作用时梁的变形量，所以必须综合考虑梁的刚度影响。;电路设计及计算机仿真 ;驱动电路 ;频率检测电路 ;差频电路 ;4.5 热对流式加速度计;工作原理;检测电路;4.6 压电式加速度计;;4.7 微型双轴加速度计 ;带折叠梁的叉指电容式微加速度传感器结构示意图 ;4.8 微型三轴加速度计;三轴硅微压阻式加速度计 ;Sandia National Laboratories 三轴加速度计;微机械加速度传感器;5 微加速度计的设计程序;基本指标和测试;基本设计问题——机械;基本设计问题——电路;基本设计问题——电路;基本设计问题——闭环控制;基本设计问题——闭环控制;详细设计、加工过程;;;陀螺仪与微陀螺仪;陀螺仪简介;非机械陀螺利用光环使光束在相反方向旋转。当陀螺结构旋转时，检测光束的多普勒移位。 而宏观的机械式的陀螺通常是用一个旋转的圆盘产生一个惯性的参照体，由于微机械方法加工带有足够质量的旋转部分很难，所以典型的微机械陀螺使用振动结构。;陀螺仪是惯性器件之一 陀螺在任何环境下都具有自主导航能力的特性 自问世以来,被广泛运用于航海、航空、航天、军事等领域,而且一直是各国重点发展的技术之一 在科学技术突飞猛进的今天,与陀螺相关的技术,仍然是人们关注的焦点之一;一　陀螺的发展简史;陀螺的功能是敏感运动体的角度、角速度和角加速度。 陀螺仪有两大特性, 即定轴性和进动性。 利用这两个特性就可在导弹等运载器的飞行过程中建立不变的基准, 从而测量出运动体的姿态角和角速度;