缓冲结构对静电驱动微桥动力学特性的影响.pdf

第 49 卷 第 7 期 天津大学学报 (自然科学与工程技术版) Vol.49 No.7 2016 年 7 月 Journal of Tianjin University (Science and Technology) Jul. 2016 DOI:10.11784/tdxbz201507071 缓冲结构对静电驱动微桥动力学特性的影响 张琪昌，陈 涛，王 炜 (天津大学机械工程学院天津市非线性动力学与混沌控制重点实验室，天津 300072) 摘 要 ：可动部件是微机电系统(MEMS)工作的关键，微桥作为主要的可动部件，其动力学特性引起了研究人员的 广泛关注．即使是设计精准的微桥结构，也会因为残余应力而不可避免地改变初始形态，设计缓冲结构是减少残余 应力影响的重要方法．基于欧拉-伯努利梁理论建立的微桥动力学模型，采用 多尺度方法进行摄动分析，探讨初始形 态、基板与极板间隙、直流偏置电压和交流激励电压幅值对系统共振频率和幅频响应的影响规律．结果表明：初始 挠形、直流偏置电压和交流激励电压都具有软化效应，使共振频率漂移到较小的数值范围，且随着拱高增加或基板 与极板间隙减小，软化效应增强，随着微拱曲率增大，软化效应减弱；缓冲结构可以削弱软化效应，缓冲结构的褶 皱数量在 2 个以上时削弱效果变化不大，双侧翘曲缓冲结构削弱软化效应的能力强于单侧翘曲缓冲结构． 关键词 ：微桥；初始形态；缓冲结构；多尺度法 中图分类号：O322 文献标志码 ：A 文章编号 ：0493-2137 (2016)07-0674-07 Dynamic Characteristics of Electrostatically Actuated Micro-Bridges Affected by Buffered Structure Zhang Qichang ，Chen Tao ，Wang Wei (Tianjin Key Laboratory of Nonlinear Dynamics and Chaos Control ，School of Mechanical Engineering ， Tianjin University ，Tianjin 300072 ，China) Abstract ：Dynamic behavior of movable components plays an important role in service behavior of micro-electro- mechanical systems (MEMS)．As a primary movable component ，the dynamic characteristics of micro-bridges have attracted the attention of scholars who are in the research field of MEMS．Inevitably ，initial shapes of the finished bridges which have been perfectly designed change because of the residual stress．Designing buffered structure is an important method to reduce the influence of residual stress．A dynamics model