ZnO薄膜的实验研究.pdfVIP

科技信息 0本刊重稿O SCIENCE＆TECHNOLOGYINFORMATION 2011年 第23期 热蒸发制备Zn／ZnO薄膜的实验研究 曾永平 陶淑芬 徐利兵 杨红磊 f曲靖师范学院物理与电子工程学院 云南 曲靖 655011) 【摘 要】本文采用低真空热蒸发技术，以锌作为蒸发源，通过调节蒸发时间，蒸发温度，真空度等工艺参数，在玻璃基底上获得薄膜样品， 再对薄膜进行退火处理。实验结果表明：采用低真空蒸发镀膜法可以制备得到取向很好的zn(002)单晶薄膜，薄膜样品在45o℃真空条件下做 退火处理后．进一步提高金属锌膜薄膜单晶性；样品经300℃大气下退火处理后，可得取向(1O1)的强织构ZnO结构。 关【键词】热蒸发镀膜法；ZnO薄膜；退火处理；晶体结构 0 引言 大．就会在基底上形成一层薄膜。 撼底 而粒子在飞到基底的过程中，有 zO是一种合适的用于室温或高温下