第2章电容式传感器.pptVIP

第五章 电容式传感器及其应用 5.1 工作原理和结构 由两块金属板，中间充以绝缘介质就组成了最简单的平板电容器。如果不考虑边缘效应，其电容 * （5-1) 式中：?——电容极板间介质的介电常数，?＝?0. ?r，其中?0为真空介电常数，?r为极板间介质相对介电常数； A——是电极面积： d——极板间距。 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 5.1.1 变极距型电容传感器 图5-1 变极距型电容式传感器 当传感器的?r和A为常数，初始极距为d。时，由式（5-1)可知其初始电容量C0为 （5-2) 若电容器极板间距离由初始值d0缩小?d，电容量增大?C，则有 （5-3) 由式（5-3)可知，传感器的输出特性C＝f(d)不是线性关系，而是如图5-2所示的双曲线关系。 图5-2 电容量与极板间距离的关系 在式（5-3)中，若?d／d0??1时， 则式（6-3)可以简化为 （5-4) 此时C1与?d近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在?d／d0很小时，才有近似的线性输出。 另外，由式（5-4)可以看出，在d0较小时，对于同样的?d变化所引起的?C可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 极板间可采用高介电常数的材料(云