俱麦克森式相位调制模组的创新干涉仪及其在软性玻璃测量之应用.pdfVIP

俱麥克森式相位調製模組的創新干涉儀及其在軟性玻璃測量之應用 王銘祥 林世聰 林聖育 國立台北科技大學光電工程系 國立台北科技大學光電工程系 國立台北科技大學光電工程系 roy6668@.tw f10402@.tw samuel3513@.tw 壹 、前言 平板顯示器（FPD ）變得更輕和可彎曲。這使得使用軟性玻璃是不可缺少的，因此促使研究人員來尋 找能夠檢查它們的適當手段。兩種最新的類型的技術已經被提出，兩者都能夠精確地檢查接觸情況的 玻璃厚度。 第一類型是合成波長干涉測量（SWI ），它取代了傳統的相移干涉測量的雷射源（CPSI ）由雙波長（或 波長可調）的雷射，並檢查玻璃在合成波長減去分別在兩個波長由兩個相位測量厚度。在一般情況下， 合成波長比任何兩個波長的要長得多，在 SWI 的測量範圍，因此比該CPSI 的大得多。然而平面平行 表面可以反复反射光束 ，和多重反射的光束的干擾可能會引入不希望有的雜訊的干擾圖案。 第二類型是掃描白光干涉（SWLI ），它由白色光源（例如鹵素燈）取代CPSI 的雷射 ，並使用的零級