基于USB2.0的193nm极紫外光强检测系统设计.pdfVIP

工 具 技 术 基于USB2．0的193nm极紫外光强检测系统设计 刘东，曹益平 四川大学 摘要：介绍一种以USB2．0为接 口的实时极紫外光强检测系统。光敏二极管输出电压经模拟放大器01：07放 大后，再经模数转换器 ADS8322转换得到与光强成线性的数字量 ，用VC++6．0编程对CY7C68013A芯片 I／O端 口控制实现对转换后的数字量的实时采集，从而实现对 193nm光刻照明系统光强的实时检测。 关键词：光刻照明系统；USB2．0；固件；ADS8322；OP07 中图分类号：TG80；TB96；TN23 文献标志码：A DesignandImplementationof193rim LightNtensityReal—time MonitoringSystem BasedonUSB2．0 ‘ Liu Dong，CaoYiping Abstract：ThispaperdescribesAreal—timeacquisitionsystem fortheUV lightintensitybasedonUSB2．0．Photo— diodeoutputvoltageamplifiedbytheanalogamplifierOP07，andthenconductedbytheADS8322ADconve~erintodigital signa1．Inthispaper．programmedbyVC+ +6．0tocontroliopinsofCY7C68013A anddisplaythedigitalnumbertoa softwareinterface．Wecandetectlightintensityof193rim Lithographyilluminationsystem byusingthisdevice． Keywords：lithographyilluminationsystem ；USB2．0；Firmware；ADS8322；OP07 模拟电压后，再经电压放大模块进行放大，AD转换 1 引言 模块再把放大后电压转换成数字量并在其I／O端 口 目前国际集成电路制造的主流技术是光刻技 输出，上位机软件控制USB模块从AD转换模块 I／， 术，光学投影曝光技术被广泛的应用在超大规模集 O端 口读取数字量并把数值显示到 PC界面，则完 成电路的生产 中 J。光刻照明系统是投影光刻机 成了一次采集。通过上位机编程可实现对 193nm 的核心部分之一，照明系统输出的光强度决定了整 光刻照明系统光强的实时检测 。 个投影曝光系统的曝光速度 J。本文研究了一种 极紫外光三三三习光强采集模块 以USB2．0为接 口的光强检测 系统，可实现对 AD转换模块 == 电压放大模块 193nm极紫外光强度进行实时检测。 USB具有接 口体积小、即插即用、兼容性好、高 USB丰控模块 ====爿 PC 速、价格低廉、最多支持 127个外部设备等优点，使 图1 光强测量系统构架 得种仪器设备越来越多的采用USB技术，尤其是在 测控系统中使用 USB总线技术已经成为一种趋 3 系统的设计与实现 势 J。本文通过 USB总线技术实现对经 AD转换 3．1 光强采集模块 后的光强度值的快速读取并显示，同时实现了设备 光强