微米纳米计量及三维电子显微的发展和前沿.pdfVIP

lf研究园地 微米纳米计量及三维电子显微的发展和前沿 木 古耀达 ，周伦彬 ，黄志斌 ，王海燕 ，蔡永洪 ，孙晓辉 (1．广州计量检测技术研究院，广州 510030；2．广州工程技术职业学院，广州 510000) 摘 要：对微纳米科技的发展现状和发展前沿进行了综述，对微纳米科技中涉及几何量计量的技术进行了简要介绍，同时讲述了现有 典型的微纳米几何量测量系统。重点介绍了测量范围大，分辨率高、横纵分辨比平衡的扫描电子显微技术，提出了场发射扫描电镜三维 重构的问题，也为今后研究提供了分析基础。最后对电子显微三维重构技术的未来进行了展望。 关键词：微纳米科技；SEM；计量；三维重构；不确定度 引 言 时，采用 2v2维的测量仪器；当测量任务涉及 自由曲面、孔洞或 陡峭形貌的时候，就必须采取三维的测量仪器。因此，根据不同 在世界科技迅猛发展的大背景下，近几十年来制造、电子、 生物，医学，材料、化学等诸多领域已逐步进入纳米尺度。然而， 的几何结构复杂性来选择不同的测量策略。