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微结构器件宏模型的建模方法 - 机电工程
# 机 电 工 程 4567! ,57#
第! 卷第 期
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微结构器件宏模型的建模方法
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章绍东 林谢昭
#7温州职业技术学院 电气工程系 浙江 温州 @!?$@? ! 7浙江大学 机械与能源工程学院 浙江 杭州 @ #$$!%
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摘 要 主要描述了微机械器件宏模型的构建问题 以微悬臂梁为例子 阐述了等效电路法 节点
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分析法 空间矩匹配方法 模态 296OPSC: 方法构建微机械宏模型的研究概况以及各个宏建模
F) )
方法的优 缺点
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关键词 宏模型 等效电路 节点分析法 矩匹配 296OPSC: 方法
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中图分类号 0*#; 文献标识码 文章编号 #$$ # ?? # !!$$% # $$% # $@
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