数字散斑相关技术在扫描电镜三维重构中的应用.pdfVIP

第 32卷 第 4期 河 南 科 技 大 学 学 报 ：自然 科 学 版 V0】．32 NO．4 2011年 8月 JournalofHenanUniversityofScienceandTechnology：NaturalScience Aug． 2011 文章编号：1672—6871(2011)o4—0014一O5 数字散斑相关技术在扫描 电镜三维重构 中的应用 张俪文 ，张旦闻 ，任凤章。 (1．中国矿业大学 环境与测绘学院，江苏 徐州 221000；2．洛阳理工学院机 电工程系，河南 洛阳471023；3．河南科技大 学 材料科学与工程学院，河南 洛阳471003) 摘要 ：将数字散斑图像相关技术应用到扫描 电镜的三维重构中。首先 ，用扫描电镜获取试样 的立体像对 ，应用 立体摄影测量技术计算 出高程。分别用显微硬度压痕实验数据和体积不变原则 ，对三维重构计算结果进行 了 验证 ，完成 了对刀具磨损面的三维重构和成分分析。结果表 明：扫描电镜三维重构与验证结果相吻合 ，基于数 字散斑相关的扫描 电镜三维重构技术可以准确反映刀具磨损表面的微观形貌 ，结合微区的能谱分析可全面评 价刀具的磨损情况 。 关键词：磨损；扫描电镜；三维重构；数字散斑 中田分类 号：TB863 文献标识码 ：A U 鄹 置 在微观结构分析中，扫描电镜是最常用的检测手段 ，其独特优势是诸如原子力显微镜 、形貌分析仪 等仪器所不能替代的 I2j。但扫描电镜只能提供二维图像 ，不具备高程测量功能，因此 ，在刀具磨损、几 何形貌测量中，开展扫描电镜的三维重构技术研究是十分必要的 。 随着计算机和数字相关技术 的发展 ，扫描电镜三维重构已成为新技术应用研究的热点 。文献 [5]利用立体摄影与数字相关技术测量了三维位移场 ，根据视差确定坐标位置 ；文献[1—2]应用数字相 关和分形理论对断口进行了扫描电镜三维重构。在刀具磨损检测 中，具有能谱分析功能的扫描 电镜三 维重构技术，对刀具切削性能检测具有十分重要的意义 。鉴于微观结构的复杂性以及三维重构困难 性 ，目前在工程应用上研究报道还较少 ，对扫描电镜三维重构结果的验证还未见报道。 本文首先叙述 了立体摄影术与数字散斑相关技术的原理和现状 ；用显微硬度计预制立体压痕进而 对扫描电镜三维重构结果进行验证；通过切削实验、刀具磨损表面扫描 电镜三维重构、能谱分析，获得刀 具受磨损后的定量分析结果。 1 基本原理 扫描电镜三维测量是利用同一点在不 同立体角下的两幅图像 (源图像和 目标 图像)中的视差来计 算高程的，设源图像的立体角 0=0。，同视场下 目标图像立体角为一较小的0，高程计算公式如下 ¨： = ㈩ n ， Sl 式中，h为试样上某点P 和参考点P 之间的高程差 ；为立体角 ；d、d2分别表示 PA、P 两点在源图像 和 目标图像上的距离。将 图像上各点高程计算之后 ，就完成了物体表面的三维重构 ¨ 。 在式 (1)中，当d ：0时，分式分子中dcos0就表示立体像对同名像点的视差 ，视差通常用数字 散斑相关法计算得到。其基本原理是 比较源图像与 目标图像光强分布变化 ，通过两幅图像 的光强分布 函数寻找同名像点的最大相关系数 ，得到与之对应的视差，其中寻求最大相关系数的计算公式为 ¨]： 基金项 目：国家自然科学基金项 目；河南省科技创瓤人才计划项 目(104100510005)；河南省高校科技创新人才支持计划 项 目(2009HASTIT023)；洛阳市应用技术研究与开发基 金项 目(0901011A) 作者简介：张俪文 (1990～)，女 ，陕西潼关人 ，硕士生 ；张旦 闻(1962一)，男 ，陕西潼关人 ，教授，博士，主要从事机械性能检测研究． 收稿