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SnCu 薄膜的沉积行为及其微观形貌分析

Sn­Cu 薄膜的沉积行为及其微观形貌分析 1,2  1  1  1  1  胡炜  ,谭澄宇  ,崔航  ,郑子樵  ,贺甜  (1.  中南大学 有色金属材料科学与工程教育部重点实验室,湖南 长沙,410083;  2.  三一重工股份有限公司,湖南 长沙,410100)  摘要:利用电沉积法,在酸性镀液中制得 Sn­Cu 薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS)研究镀液中主盐 浓度、电镀工艺条件及添加剂对薄膜形貌的影响,并借助循环伏安曲线研究不同条件对 Sn­Cu 沉积行为的影响。 研究结果表明: 镀液中主盐浓度的增大促进了 Sn­Cu 的还原沉积; 添加剂的引入对金属离子具有较强的螯合作用, 2+  限制了镀液中自由金属离子的浓度,使得合金沉积电位负移;此外,镀液中 Sn  浓度变化对镀层晶粒粒度影响较 2+  大,改变 Cu  浓度对镀层的平整度影响较大;电流密度增加、温度降低及加入添加剂,都能细化镀层晶粒。 关键词:电沉积;可焊性镀层;Sn­Cu 薄膜;循环伏安 中图分类号:TQ172.84  文献标志码:A  文章编号:1672−7207(2011)04−0940−07  Analysis of Sn­Cufilmsdeposition behaviors and micromorphologies  1, 2  1  1  1  1  HU Wei  ,TAN Cheng­yu  , CUI Hang , ZHENG Zi­qiao ,HE Tian  (1. Educational Key Laboratory of Non­ferrous Metal Materials Science and Engineering,  Central South University, Changsha 410083, China;  2. SANY Heavy Industry Co.Ltd, Changsha 410100, China)  Abstract: Sn­Cu films were prepared by electrodeposition. The effect of the concentrations of main salts, the process  conditions and additives on the morphologies of Sn­Cu films were investigated by scanning electron microscopy (SEM)  and  energy  disperse  spectroscopy  (EDS),  and  the effect  of  various  conditions  on  electrodeposition  of  Sn­Cu  was  investigated by cyclic voltammetry (CV). The results indicate that the increase of main salts concentrations promotes  S

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