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SnCu 薄膜的沉积行为及其微观形貌分析
SnCu 薄膜的沉积行为及其微观形貌分析
1,2 1 1 1 1
胡炜 ,谭澄宇 ,崔航 ,郑子樵 ,贺甜
(1. 中南大学 有色金属材料科学与工程教育部重点实验室,湖南 长沙,410083;
2. 三一重工股份有限公司,湖南 长沙,410100)
摘要:利用电沉积法,在酸性镀液中制得 SnCu 薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS)研究镀液中主盐
浓度、电镀工艺条件及添加剂对薄膜形貌的影响,并借助循环伏安曲线研究不同条件对 SnCu 沉积行为的影响。
研究结果表明: 镀液中主盐浓度的增大促进了 SnCu 的还原沉积; 添加剂的引入对金属离子具有较强的螯合作用,
2+
限制了镀液中自由金属离子的浓度,使得合金沉积电位负移;此外,镀液中 Sn 浓度变化对镀层晶粒粒度影响较
2+
大,改变 Cu 浓度对镀层的平整度影响较大;电流密度增加、温度降低及加入添加剂,都能细化镀层晶粒。
关键词:电沉积;可焊性镀层;SnCu 薄膜;循环伏安
中图分类号:TQ172.84 文献标志码:A 文章编号:1672−7207(2011)04−0940−07
Analysis of SnCufilmsdeposition behaviors and micromorphologies
1, 2 1 1 1 1
HU Wei ,TAN Chengyu , CUI Hang , ZHENG Ziqiao ,HE Tian
(1. Educational Key Laboratory of Nonferrous Metal Materials Science and Engineering,
Central South University, Changsha 410083, China;
2. SANY Heavy Industry Co.Ltd, Changsha 410100, China)
Abstract: SnCu films were prepared by electrodeposition. The effect of the concentrations of main salts, the process
conditions and additives on the morphologies of SnCu films were investigated by scanning electron microscopy (SEM)
and energy disperse spectroscopy (EDS), and the effect of various conditions on electrodeposition of SnCu was
investigated by cyclic voltammetry (CV). The results indicate that the increase of main salts concentrations promotes
S
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