材料分析中合理使用各种试验研究方法（续） - 材料与测试网.PDFVIP

材料分析中合理使用各种试验研究方法（续） 杨传铮 （中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 ２０００５０） 犚犲犪狊狅狀犪犫犾犲犝狊犻狀 犞犪狉犻狅狌狊犓犻狀犱狊狅犳犜犲狊狋犚犲狊犲犪狉犮犺犕犲狋犺狅犱狊 犵 （ ） 犻狀犕犪狋犲狉犻犪犾犃狀犪犾狊犻狊犆狅狀狋犻狀狌犲犱 狔 犢犃犖犌犆犺狌犪狀狕犺犲狀犵 （ ， ， ， ） ＳｈａｎｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｉｃｒｏｓｓｔｅｍａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏ ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍ ｏｆＳｃｉｅｎｃｅＳｈａｎｈａｉ２０００５０ Ｃｈｉｎａ ｇ ｙ ｇｙ ｙ ｇ 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） Ｎ３４ＴＢ３０２ Ａ １００１４０１２２０１２０５０３４５０５ 　　　 　　　 电子能谱及应用 均产额是不同的，图 给出 系 射线和 系 ３．２．２ Ａｕｅｒ ２ 犓 Ｘ 犓 　 ｇ ３．２．２．１ Ａｕｅｒ电子能谱 Ａｕｅｒ电子平均产额随原子序的变化，当犣＝３２ 　 ｇ ｇ 当高能电子束或 射线激发样品时，原子内壳 时，两者产额相等。就同步辐射荧光 射线试验测 Ｘ Ｘ 层上电子因电离而留下一个空位，由较外层电子向 量模式来讲有两种，即白光激发和单色光激发，前 这一能级跃迁使原子释放能量的过程，发射特征 者是用分光晶体把不同波长的 射线展谱，后者是 Ｘ Ｘ 射线；另一种弛豫过程是： 壳层电子电离产生空 用能量探测器记录 射线光子的能量。 犃 Ｘ 位，壳层电子向 壳层的空位跃迁，导致 壳层 犅 犃 犆 1.0 的电子发射，这就 电子发射。图 给出 犃犅犆Ａｕｅｒ １ ｇ 0.8 X射线 了原子发射特征 射线和特征 电子的能级 Ｘ Ａｕｅｒ ｇ 额 0.6 跃迁示意图。如 层电离，层电子向 层跃迁发 产 犓 犔 犓