用于激光相控阵的阵列相位调制器研究 - 北京工业大学学报.PDFVIP

第40卷第5期 北京工业大学学报 V01．40NO．5 OF UNIVERSITYOFTECHNOLOGY 2014 2014年5月 JOURNALBEIJING May 用于激光相控阵的阵列相位调制器研究 杨登才1，-，王大勇1”，杨作运17，王云新1一，戎 路1’2，赵 洁1’2 (1．北京工业大学微纳信息光子技术研究所，北京100124；2．北京工业大学应用数理学院，北京100124) 摘要：分析了相位调制器在激光相控阵中的重要性，提出了阵列相位调制器的设计思想．对退火质子交换 (annealed 和模场分布，优化设计了级联Y分支波导结构，实现了光功率的高均匀输出．基于铌酸锂晶体的电光效应，对影响 半波电压的因素进行了分析，设计了长电极结构，理论上得到了低半波电压．基于退火质子交换工艺制作了阵列相 位调制器，并对器件的光学特性和电学特性进行了实验测试，测得器件的插入损耗为6．83dB，光功率输出均匀性 为0．23dB，4路半波电压分别为2．1、3．4、2．0、2．1V，结果表明：该器件的制作有助于激光相控阵的集成化． 关键词：阵列相位调制器；退火质子交换波导；Y分支；半波电压 308 中图分类号：U461；TP 文献标志码：A Basedon PhaseModulator Arrayed YANG Jiel’2 Zuo．yunl’2，WANGYun—xinl，2，RONGLul’2，ZHAO Deng—cail’2，WANGDa．yon91，2，YANG ofInformationPhotonics of (1．Institute 100124，China； Technology，BeijingUniversityTechnology，Beijing of 1 1 of 00 2．Collage Science，BeijingUniversityTechnology，Beijing24，China) Applied modulatoris inlaser modulatorbasedOil Abstract：The phase importantphasedarray．Thearrayedphase is index inannealed optical profile waveguide waveguideproposed．The is beam of studied andsimulated theoretically by propagationmethod(BPM)．Highuniformityoutput