硅微机械加工光波导压力传感器的设计.PDFVIP

( ) 　　　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Transducer Technology 　　　　　　　　　　2002 年 第 21 卷 第 1 期 60 　　 前沿技术 硅微机械加工光波导压力传感器的设计 许高攀 , 胡国清 (厦门大学 机电工程系 ,福建 厦门 361005) 摘 　要 :随着波导材料的研究和进展 ,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器 ,就光波导压力 传感器的原理和特性作了一个简要阐述 ,对它的工艺流程作了详细的描述。 关键词 :光波导压力传感器 ; 硅微机械法 ; 结构 ; 原理 ; 特性 ( ) 中图分类号: TP212 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :1000 - 9787 2002 01 - 0060 - 03 Design of silicon micro machined wave guide pressure sensor XU Gaopan , HU Guoqing ( Dept. of Mech. and Elec. Engin. , Xiamen University , Xiamen 361005 ,China) Abstract :With the development and research of wave guide material ,the new wave guide materials were adopted to design a new optical wave guide pressure sensor. The structure ,character and principle of the optical wave guide pressure sensor were expounded here. The fabrication process was discussed. Key words :optical wave guide pressure sensor ; silicon micro machined ; structure ; principle ; character 0 　引 　言 光波导压力传感器是在硅微机械与光纤组合式 传感器研究基础上发展起来的 , 随着纳米材料的发 展和研究 ,采用新的材料来取代原来的 SOI ( silicon on insulator) 结构 , 改用 NOAPMMASiO2 结构 , 由 ( ) 于 PMMA 聚甲基丙烯酸甲脂 ,俗称有机玻璃 具有 优良的光学特性及低热零点漂移且有较好的抗冲击 特性 ,而 NOA73 是一种很通用的光学粘附剂 ,采用 这种新结构具有成本低、易于制造和残余应力小、抗冲 击能力强、受环境影响因素小等特点。所以对这一结 构的压力传感器进行了初步的研究和设计[1～5] 。 1 　结构和原理 该光波导压力传感器 ,就是集成硅微机械光压 力传感器 ,它利用 MEMS 加工技术 ,将传输、获取信 图1 硅光波导压力传感器的结构及脊形波导结构 Fig. 1 　Structure of the optical wave guide pressure 息的光波导以及具有良好机械性能的硅膜和光电转