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硅片空蚀实验中表面粗糙度和润湿性的影响 - 中国科学.PDFVIP

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  • 2017-07-02 发布于天津
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硅片空蚀实验中表面粗糙度和润湿性的影响 - 中国科学.PDF

    硅片空蚀实验中表面粗糙度和润湿性的影响 - 中国科学

    2008 年 第 53 卷 第 5 期 : 598 ~ 604 SCIENCE IN CHINA PRESS , , , 100084 E-mail: jnn98@ 2007-08-02 , 2007-11-25 (: Au DLC , . (SEM) ; . , , , , ; Au DLC , , . , [5], , . [1,2]. Chen [6]()( , ) [3] , , , 4 h, , . , . , , , , . , , . . , , , . , , , ; , , ; , [4]. . , 1 , , , 1.1 . , , , 1 . 20 kHz, 598

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