以poly(t-butyl-3α-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7α,12α-dihydroxy-5 .doc

以Poly(t-butyl-3α-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7α,12α-dihydroxy-5βcholan- 24-oate-co-maleic anhydride)作為193nm光阻 t-butyl-3α-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7α,12α-dihydroxy-5β-cholan-24-oate和馬來酸酐的共聚物被合成為矩陣聚合物利用ArF激發態雷射微影術.聚合物有一個很強的透光率於193nm並且具有良好的熱穩定性到達255度為止.光阻制配的聚合物對於使用氯氣與氧氣混合氣體的乾性蝕刻相較於一般KrF激發態雷射光阻顯現出更良好的阻抗.一個0.15μm的線和空間樣式可用照射能量為18mJcm-2的ArF準分子激發態雷射晶圓步進機來得到. 1.簡介 光微影印刷法使用193nm(ArF激發態雷射)爆光工具是一個很有前途的科技用來生產0.18μm的樣品.無論如何,適合這個爆光工具的高性能光阻必須被設計在它可以被放到實際應用前.光阻(193nm)必須擁有高影像性質和乾蝕刻阻抗,且與2.38wt%的氫氧化四甲基銨(TMAH)溶液顯影劑有良好的相容性.主要在顯影的問題是如何把光阻保持平衡介於在193nm時的乾蝕刻阻抗和透光率之間.一般的光阻材料,例如,novalac樹酯用於g/i-line微影印刷術和聚羥基苯乙烯用於KrF激發態雷射微影印刷術,有良好的阻抗於電漿蝕刻程序.不過,它們不能被使用由於它們在193nm擁有強的吸收. 最近, 甲基丙烯酸酯共聚合物與側基脂環基團和環狀脂肪族/馬來酸酐共聚物已經被提議因為它們的高穿透率和良好的乾蝕刻阻抗.無論如何,它很難同時的滿足於微影印刷術的效能需要的高乾蝕刻阻抗和良好必要材料特性.光阻有相當的乾蝕刻阻抗借助於脂環單位趨向易脆,弱付著力和難溶於2.38wt% TMAH顯影劑.另外, 脂環單位的減少並以乾蝕刻阻抗作為代價會導致微影印刷術效能的增加. 此研究我們將介紹脂環基加入矩陣聚合物的主鏈和側鏈來增加乾蝕刻阻抗.新設計的高分子的合成,物理性質和微影效能將被介紹. 2.實驗 2.1.材料 膽酸,三氟乙酸酐和叔丁醇是從Aldrich Chemical Company買來的,使用時沒有被更進一步的純化. 丙烯醯氯和馬來酸酐(MA)是從Aldrich Chemical Company買來的,個別的被真空蒸餾並使用氯仿再結晶化. 三乙基氨(TEA)是從Junsei Chemical Company買來的,並用蒸餾純化. 2-氯甲酰基-5-冰片稀(CCN)被用環戊二烯與丙烯醯氯之間的Diels-Alder反應來制配.反應的產物被用真空蒸餾來純化.三苯基硫三氟甲烷磺酸鹽(TPSTf)作為光酸產生劑(PAG)是利用文獻的方法來制配. 2.2.合成叔丁膽鹽和t-butyl-3α-(5-norbornene-2-carbonyloxy)-7α,12α-dihydroxy-5β-cholan-24-oate (TBNC) 叔丁膽鹽是用之前的報告所說的方法來合成.TBNC的合成如下.一個完全乾燥的250ml三頸燒杯與滴下的漏斗固定在一起,氮氣通入,然後一個乾燥的試管裝滿無水氯化钙(CaCl2)與10.0g(0.022mol)的叔丁膽鹽,3.0ml(0.021mol)的TEA利用攪拌棒劇烈的攪拌.然後,200ml的乾二乙基醚被加到氮氣的環境下.溶劑被攪拌和冷卻至0℃,3.3g(0.021mol)的2-氯甲酰基-5-冰片稀溶於30ml的乾二乙基醚中通過滴液漏斗以30分鐘逐滴地加入並活躍的攪拌.然後反應混合物被允許回溫至室溫並攪拌6小時.TEA鹽被過濾移除掉,反應混合物利用在矽膠的管柱層析法以乙酸乙酯:正己烷(1:3)作為洗提液.欲得到的部分被化合和乾燥在減壓下.所得到的TBNC的產率為5.6g(45%),是白色的粉末.元素分析,計算C36H56O6:C,73.93;H,9.65;得到:C,73.87;H,9.61. H NMR (CDCl3,ppm): 0.68 (3H, s, 18-Me), 0.88 (3H, s, 19-Me), 0.96 (3H, d, J = 6 Hz, 21-Me), 1.0-2.02 (24H, m), 1.43 (9H, s, t-butyl), 2.19 (4H, m), 2.85 (2H, m), 3.16 (1H, m), 3.83 (1H, m, J = 3 Hz,7-H), 3.98 (1H, m, J = 3 Hz, 12-H), 4.50 (1H, m, 3-H), 5.89 (1H, m, endo-olefinic proton), 6.09 (2H, m, exo-olefinc protons