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北京培科创新技术有限公司 拉曼光谱在材料领域的应用 拉曼光谱在化学和材料科学上的应用，主要是分子定性、定量和结构分析以及物 质物理 化学性质的测定上。已有的应用包括：化合物的结构和某些官能团的确定、聚合物和有机化 合物的测试、电化学研究和腐蚀研究、化学反应中催化剂作用的研究、对半导体芯片上微小 复杂结构的应力及污染或缺陷的鉴定、金刚石镀膜和复合材料的测试、超导体测试、晶体的 n 振动和结构、碳纳米管的生长和不同条件下特性的变化等等。由于具有结构信息丰富、可实 c 现无损探测等突出优点，拉曼光谱在化学和材料科学上的应用受到越来越广泛的重视和研究。 . （1）薄膜结构材料拉曼研究：拉曼光谱已成CVD （化学气相沉积法）制备薄膜的检测和 e 鉴定手段.拉曼可以研究单、多、微和非晶硅结构以及硼化非晶硅、氢化非晶硅、金刚石、类 c 金刚石等层状薄膜的结构。 n （2 ）超晶格材料研究：可通过测量超晶格中的应变层的拉曼频移计算出应变层的应力， 司 根据拉曼峰的对称性，知道晶格的完整性。 公 e （3 ）半导体材料研究：拉曼光谱可测出经离子注入后的半导体损伤分布，可测出半磁半 限 i 导体的组分，外延层的质量，外延层混品的组分载流子浓度。 c （4 ）耐高温材料的相结构拉曼研究。 有 s （5 ）纳米材料的量子尺寸效应研究。 术 1.半导体材料内应力的研究：100nm 以下MOSFET 硅基的应力。较大和较多的电子和空 k 穴迁移增强将会导致硅基应力的增大，并不会因材料结构的完整性而减弱。 技 a 新 e 创 p 科w. 培w 京w 北 如图所示，左侧为硅基氧化物的透射电镜成像。右侧为拉曼光谱检测，硅的拉曼峰没有 发生频移，即使在1000℃退火7.5 分钟后，这表明热处理之后应力依然保留着。 2. 金属-分子-半导体界面电荷转移效应：将层层组装技术和溶胶-凝胶作用结合构建了有 序的Ag/MPH/TiO2 电荷转移复合体系，通过SERS 技术，观察并探讨了体系中的电荷转移现 象。 联系电话：010邮箱：sales@ 北京培科创新技术有限公司 n c e. c 司 n 如图在Ag/MPH/T