迎接最棘手的开关挑战迎接最棘手的开关挑战 - keysight.pdf

Agilent B2200A fA 级 低泄漏开关 Agilent B2201A 14 通道 低泄漏开关 迎接最棘手的开关挑战 迎接最棘手的开关挑战 Agilent E5250A 低泄漏开关 解决参数测试难题 把半导体参数仪器集成在一起时 开关矩阵选择不当可能会导致测 安捷伦开关矩阵可以迎接这些 所面临的挑战 试性能下降 挑战 对半导体参数进行测试的用户 开关矩阵能够解决在做仪器的 为迎接这些挑战，安捷伦提供 通常需要频繁地使用除了半导体参 系统集成时所存在的问题，但它们 了Kelvin 开关解决方案和非Kelvin 数测试系统之外的许多其它的仪 自身也经常会给测量带来误差。一 开关解决方案。安捷伦解决方案不 器，例如电容表，精密数字电压表 些开关矩阵继电器会增加噪声和电 会影响参数测试系统的测量完整性， 和脉冲发生器。在把这些测试仪器 流泄漏路径。与独立型参数测试系 同时其可以准确地测量CV和低电流 集成到一起的过程中您可能会碰到 统相比，这一问题通常会降低电流 IV。无论您需要哪种开关，安捷伦都 很多的困难。例如参数测试系统的 对电压(IV)测量性能。电容对电压 可以提供一种解决方案，不仅可以 源和监测单元(SMU)的输出是三轴 (CV) 测量需要补偿信号路径长度， 最大限度地降低成本，还可以最大 结构的，在把它和其它同轴接口结 但开关矩阵会产生可变的路径长度， 限度地提高灵活性和测量完整性。 构的仪器相连接的时候就需要借助 从而使电容测量的补偿变得极为困 安捷伦开关解决方案把B5100A半导 适配器的帮助。此外，在组建一个 难。大多数探头卡接口也进一步降 体器件测试系统与EasyEXPERT 软 测试系统时您还得考虑把连接各种 低了整体解决方案的IV 和CV 测量 件简便地结合在一起，建立了一个 仪器的电缆安排得井井有条。最 性能。 完整的参数测试环境。 后，如果您需要用手动切换的方法 在三轴和同轴电缆间进行切换的 话，您就不可能实现对被测器件 (DUT)的自动测量。 5.00E-13 4.50E-13 安捷伦开关矩阵为您准确地测量低电流树立信心... 分辨率可以达到1 fA 4.00E-13 3.50E-13 * 3.00E-13 ) 竞争对手的开关矩阵，配有低电流矩阵卡 A ( t n e 2.50E-13 Agilent E5250A 低泄漏开关 r r u C Agilent B2201A 14 通道低泄漏开关 2.00E-13 Agilent B2200A fA 级低泄漏开关 1.50E-13 1.00E-13 0.50E-14 0.00E+00 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Time (sec) * 在对矩阵输入应用 10