硅烷法制备非晶硅粉的晶化研究.pdfVIP

维普资讯 浙江理工大学学报 ，第 25卷，第 2期 ，2008年 3月 JournalofZhejiangSci—TeehUniversity Vo1．25，No．2，Mar．2008 文章编号：1673—3851(2008)02—0207～03 硅烷法制备非晶硅粉的晶化研究 朱成 良，姚 剑 ，徐 敏 ，杨 红 ，马照军 ，姚奎鸿 (浙江理工大学材料工程 中心 ，杭州 310018) 摘 要 ：研 究不同温度下硅 烷分解所制备的非晶硅粉的 晶化规律 。对 非晶硅粉采 用不 同的温度进行退 火处理 使其 晶化 ，用 X射线衍射仪 (XRD)、扫描 电子显微镜 (SEM)和紫外可见吸收谱 (UV)进行分析 结果表 明：当退火温 度高于750℃，硅粉开始 晶化 ；温度低于 75O℃时，硅粉较难结晶。通过 Seherrer公式计算 ，结合 SEM 和 UV验证表 明：75o℃时，非晶硅粉 晶化并不完全 ，退火后颗粒大小约为 200nm。紫外可见光谱分析得到退 火后光学带隙为