纳米Si薄膜光学性质和弹性常数的研究.pdfVIP

· 150 · 材料导报 B：研究篇 2012年 7月(下)第26卷第 7期 纳米 Si薄膜光学性质和弹性常数 的研究 梁伟华，王秀丽，赵亚军，庞学霞，王英龙 (河北大学物理科学与技术学院，保定 071002) 摘要 采用基于密度泛函理论的第一性原理的方法，对厚度为0．54～3．30nm纳米si薄膜的电子结构、光学 }生质及弹性常数进行了计算。结果表明，纳米Si薄膜是直接带隙半导体材料；随着纳米si薄膜厚度的减小，带隙逐 渐增大；薄膜的光学吸收边发生蓝移，吸收带出现宽化现象；弹性常数、杨氏模量和泊松比呈现尺寸效应。 关键词 纳米si薄膜 第一性原理 光学性质 弹性常数 中图分类号：0469；TB321 文献标识码 ：A StudyofOpticalPropertiesandElasticConstantsonNano-crystalline Silicon ThinFilms IIANGWeihua，WANGXiuli，ZHAOYajun，PANGXuexia，WANGYinglong (CollegeofPhysicsScienceandTechnology，HebeiUniversity，Baoding071002) Abstract Theelectronicstructural，opticalpropertiesandelasticconstantsofsiliconfilmsin largethickness rangeof0．54～3．30nm wereinvestigatedbyfirst-principlescalculationsbasedondensityfunctionaltheory．There～ sultsshow thatthesiliconfilmsaredirect—gapsemiconductormaterials；thebandgapiswidenedwiththedecreaseof thickness．Blueshiftoftheopticalabsorptionedgeisobservedintheabsorption spectraofsiliconfilmswiththede— creaseofthickness，accompanyingwiththewideningoftheabsorptionband．Theelasticconstants，YoungSmodulus andPoissonSratioofsiliconfilmsarehighlysizedependent． Keywords nano-siliconthinfilms，first-principles，opticalproperties，elasticconstants 模量具有尺寸效应[1719]。对纳米 Si薄膜而言，因具有很大 0 引言 的比表面积，所以其弹性特性很可能是表面依赖的。本模型 自2O世纪 9O年代以来 ，人们对硅基材料 的设计进行了 采用基于密度泛函理论的第一性原理的方法计算 了不同厚 多方面的尝试 ，像多孔 si¨】J、Si量子点 ]、si纳米线 j、超晶 度纳米 Si薄膜的电子结构、光学性质以及其弹性性能，这些 格 等，尤其是si量子点和 Si纳米线，因具有明显的量子尺 结果为纳米 Si薄膜器件 的实用化提供了理论指导。 寸效应 ，成为了直接带隙材料 ，使得它们表现出较好 的光电 1 理论模型与计算方法 性能[6-9。而作为硅材料家族的特殊分子，纳米 Si薄膜 (he- Si：H)是由纳米尺寸的硅微晶粒构成的一种纳米固体材料 ， 1．1 模型 与非晶硅、微晶硅