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第 20卷 第 5期 光学 精密工程 VoL20 No.5
2012年 5月 OpticsandPrecisionEngineering M ay.20l2
文章编号 1004—924X(2O12)05—0988—08
超声技术在石英光纤腐蚀 中的运用
钟年丙,廖 强 ,朱 恂,王永忠,陈 蓉
(1.重庆大学低品位能源利用及系统教育部重点实验室,重庆 400030;
2.重庆大学 工程热物理研究所,重庆400030)
摘要 :为 了获得光滑 的腐蚀光纤表面并精确管理光纤的腐蚀直径 ,采用 自行设计 的超声腐蚀系统,在质量百分 比浓度为
12.5 的氢氟酸 (HF)溶液 中研究了超声功率和腐蚀温度对石英光纤包层、纤芯腐蚀速率 以及腐蚀后光纤表面形貌 的影
响。研究表明:在 HF溶液中,超声扰动有利于提高光纤的腐蚀速率,光纤腐蚀速率与腐蚀时间呈非线性关系,腐蚀表面
随着腐蚀的进行越来越粗糙。基于研究结果 ,进一步采用质量 百分 比浓度为 12.5 的HF溶液和 25 的NH OH溶液
配制了缓冲氢氟酸(BHF)溶液 ,探讨 了光纤腐蚀速率及表面形貌 的变化 ,结果表 明:在 V (HF):V (NH OH)一 2的
BHF溶液 中,当超声功率为 165W 、腐蚀温度为 40~C时 ,可获得光滑的腐蚀光纤表面和腐蚀速率与腐蚀 时间的线性关
系 。
关 键 词 :超声扰动 ;石英光纤;缓冲氢氟酸 ;表面形貌 ;线性控制
中图分类号 :TN25:TB559 文献标识码 :A doi:10.3788/OPE.2O122005.0988
Application ofultrasonictechnologytoetchingsilicaopticalfiber
ZHONG Nian—bing,LIAO Qiang ,ZHU Xun,WANG Yong—zhong,CHEN Rong
(KeyLaboratoryofLow—gradeEnergyUtilizationTechnologiesandSystemsofthe
MinistryofEducation,ChongqingUniversity,Chongqing400030,China;
InstituteofEngineeringThermophysics,ChongqingUniversity,Chongqing400030,China)
*C0r7g 0 gauthor,E-mail:lqzx(cqu.edu.cn
Abstract:Toobtainthesmoothsurfaceofanetched—fibercoreandtopreciselycontrolthediameterof
theetched—fiber,anultrasonicetchingsystem wasdeveloped.Theeffectofultrasonicpowerandtem—
peratureon theetch rateoffibers (fibercladdingandfibercore)andthesurfacemorphologyof
etched—fiberswereinvestigatedinthe12.5 percentageconcentrationofHF solution,respectively.
Experimentalresultsindicatethattheetch rateisenhanced bytheultrasonicagitation,therelation—
shipbetweenetchrateandetchingtimeisnonlinearandthesurfaceroughnessisincreasedwiththe
etchingtimeintheHFsolution.Thereafter,theBufferedHF (BHF)solutionwaspromoted,andthe
BHFsolutionswerepreparedbymakinguseof12.5 HF solutionand2
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