超声驻波场粒子二维运动控制机理与模型研究.pdfVIP

第 33卷 第 3期 度 孳 Vo1．33．No．3 2014年 5月 JournalofAppliedAcoustics May，2014 · 研究报告 · 术 超声驻波场粒子二维运动控制机理与模型研究 杨贤龙 吴立群 巢 炎 (杭州 电子科技大学 机械工程学 院 杭州 310018) 摘要 为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工，以达到均匀加工的 目的，本文从理论、模拟 和实验等方面研究了粒子由无规则排列到超声作用后形成二维网格状排列的运动过程，网格化控制机理，并建立 了二维运动方程。计算机仿真结果与实验结果一致，表明应用超声驻波进行网格化微纳加工设想是可行的。 关键词 正交超声驻波，粒子控制，多晶硅，网格化微加工 中图分类号 ：TB559 文献标识码：A 文章编号：1000—310X(2014)03-0258-06 DOI：10．11684／j．issn．1000—310X．2014．03．010 Particlesmotioncontrollingandmodelingin two-dimensional ultrasonicstandingwaves YANG Xianlong W U Liqun CHAO Yan (SchoolofMechanicalEngineering，HangzhouDianziUniversity，Hangzhou 310018，China) Abstract Inordertoachievetheuniformprocessingonthesurfaceofmulti-crystallinesilicon(me-Si)solar cell，thispaperpresentsorthogonaluhrasoniestandingwavetomanufactureregularmorphologyonthesurface ofBC—Sitoimprovethelighttrapping．Thetheoryofparticlemotionformattingthegrid-likearrangementinthe fieldofultrasonicstandingwavewasstudied，and atwo-dimensionalmodelofmotionwasestablished．The processofparticle motion wasprogrammed and simulated．A experimenthasbeen designed to testthe efficiencyofparticlemotioncontrollingandmodeling，andtheresultillustratesthattheapplicationofultrasonic standingwavegridmicromachiningisfeasibletocontrolparticlemotion． Keywords Orthogonalultrasonicstandingwave，Particlecontrol，Muhicrystallinesilicon，Gridmicmmachining 种力是 由声场的非线性现象而产生 。这种现象在 1 引言 19世纪末期首先 由Kundt和 Lehman…所描述 ，然