基于ms3110的微电容读出电路设计..pdfVIP

·电气与自动化· 郑雨薇，等·基于MS3110的微电容读出电路设计 DOI：10．19344／j．cnki．issnl671—5276．2017．00．051 基于MS3110的微电容读出电路设计 郑雨薇．朱蕴璞 (南京理工大学机械工程学院，江苏南京210094) 摘要：电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应 用研究．了解其使用性能和参数设置方法，在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的 电容输出接口，实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明，设计的基于 MS3110的微电容读出电路有良好的稳定性和线性度。 关键词：微电容读出电路；MS3110；ADSl255；AVR单片机 中图分类号：TN451文献标志码：B 文章编号：1671．5276(2017)02—0174—03 of ReadoutCircuitBasedonMS3110 DesignMicro—capacitor ZHENGYuwei．ZHU Yunpu ofmechanical ofScienceand 210094，China) (School engineering，NanjingUniversity Technology，Nanjing MEMSaccelerometerisamainformatinOfMEMSaccelerometers．Thismakesa oftheMS31 10 Abstract：Capacitive paper study the andthemethodof andusestheMS3110astheinterfacecircuitofthetheca— chip，knowsperformance settingparameters chip in kindof show MEMSsensortodetectthe this sensors．Thetestresults thatthemicro— pacitive high—resolutionmicro—capacitance readoutcimuitbasedonMS31lOhas and capacitor goodstabilitylinaarity． readout circuit；MS3110；ADSl255；AVR Keywords：micro—capacitor sors公司的通用电容检测芯片MS3110．设计内容包含微 0 引言 电容检测电路及其上位机数据采集软件。 MEMS电容传感器结合了MEMS传感器和电容传感 1总体方案设计 器2类传感器的优势，具有微型化、集成度高、功耗低、灵 敏度高、受温度影响小等优点。同时，它也受到2类传感 基于MS3110的微电容读出电路总体框图如图1所 器缺点的制约[1-2]。MEMS工艺有2个与生俱来的缺点：刁弋。 1)MEMS器件受工艺的影响较大，参数的不确定性高，容 易产生非线性：2)由于MEMS传感器的结构微小，输出信 号微弱，容易受到各种噪声和环境的干扰．因此其输出信