纳米级步进压电微动台结构设计及性能的分析的研究.pdf

摘要 作为纳米技术中的关键环节，步进压电精密驱动技术是现代精密驱动技术中 的热门研究领域之一，并且正在朝着高精度、高分辨率的方向加以提高，一些新 方法、新原理和新技术不断涌现出来。 本文对外驱动和内驱动两种驱动方式的步进压电微动台的工作原理、运动方 式及动力学模型进行了详细地分析和研究。设计了外驱动型和内驱动型纳米级步 进压电微动台的结构，外驱动型微动台以采用新颖的“推一拉’’原理为基础，通 过合理安排驱动器的位置，将压电陶瓷的驱动力直接加载在微动平台，从而保证 系统的刚度，获得较大驱动力和行程。提出了一种新型STM样品移送系统的扫 描隧道显微镜机械结构并设计了该系统的内驱动型微动台结构。建立了压电微动 台的动力学结构模型，并对其夹紧机构和驱动机构的受力情况进行了理论分析。 采用有限元分析软件ANSYS，进行了压电微动台的静、模态特性分析，得出了 步进压电微动台位移、应力分布、驱动能力、固有频率和振型。对外驱动型微动 台的结构进行仿真计算，分析了结构参数对步进压电微动台特性的影响，得到了 压电微动台的固有频率和振型。通过正交试验法，得到了影响固有频率和振动幅 值的最优条件，其中微动台导轨宽度的影响较大，最优的设计参数为：载物台高 10mm，壁厚5mm，导轨宽55ram，从底座到连接块的高4．4mm。通过逐步回 归分析方法，建立外驱动型步进压电微动台的4个因素和第一阶固有频率之间的 的最优回归方程，该定量分析对纳米级步进压电微动台的设计和控制具有重要价 值。完成了压电微动台驱动控制系统的设计，研制了抗干扰、控制方便的压电陶 瓷驱动电源。通过对外驱动型微动台的各个参数进行了详细的试验测量，验证了 动力学模型和有限元分析结果，满足纳米级的微位移、较大驱动力和行程的要求。 该微动台的重复性实验结果较好，获得了匀速连续稳定的运动。该微动台具有大 行程纳米测量机等好的实际应用前景。建立了STM微动台实验控制电路，对内 驱动型微动台通过实验，验证了有限元分析结果，可以满足纳米级的微位移系统 的要求，具有较大驱动力和行程。该微动台的载物力约为16．7N，步进频率50Hz 行程范围内具有较好的大行程稳定性。该微动台被运用在STM系统，实现了对 原子实空间图像的观察。分析了附加因素对该驱动器的影响，针对这些因素的影 响提出了相应的解决办法和措施。 关键词：压电微动台纳米技术有限元分析结构设计正交实验 ABSTRACT Asthe of precise keystep nano-technology,steppingpiezoelectricdriving isoneofthehotresearchfieldsofmodern technology precisedrivingtechnology,and is towards and withthe ofsome improvedhigh—precisionhigh-resolutionemergence new andnew methods，new principlestechnologies． Inthis detailed and forthe paper,a analysisstudy stepperpiezoelectric withbothexternalandinner isdone their micro—movingstage driving through working andkineticmodels．Boththe principles、movements and stagenano-stepper stageinner-micro—moving piezoelectricmicro—movingstages’ structureisdesigne