中国电子气体的现状及发展走向-中国气体分离设备商务网.PDF

第22卷第6期 低 温 与特 气 Vol.22,No.6 2004年 12月 LowTemperatureandSpecialtyGases Dec.,2004 中国电子气体的现状及发展走向 孙福楠，韩 美，陈晓惠，王秋娥，林 刚，田 波，梁 玉 (光明化工研究设计院，辽宁大连481信箱 116031) 摘要:详细地介绍了中国电子气体的技术现状。从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上 进行了极为详细的介绍。同时，对电子气体的未来发展进行了展望。 关键词:电子气体;工艺制造;现状;展望 中图分类号二TQ117 文献标识码:A 文章编号:1007-7804(2004)06-0001-05 ThePresentAndTrendofElectronicGasesinChina SUNFN,HANM,CHENXH,WANGQE,LING,TIANB,LIANGY (GuangmingResearchDesignInstituteofChemicalIndustry工lalian116031，China) Abstract:DetailedintroducedthetechnologypresentofelectronicgasesinChina.Detailedintroducedtheprocessofsome maingaseswhichusedintheproductionofphotoelectronandmicroelectronics.Atthesametime.lookforwardtothe futureofelectronicgases Keywords:electronicgases;process;present;trend 1 前 言 车电子巨大的市场需求，中国在原电子部的几条 IC生产线的基础上，又相继开发和引进几十条相 在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片的 对比较先进的IC生产线，近年来又有大批民营资 生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节 金相继投人IC业，这极大地推动了中国超大规模 都离不开.电子气体，因此，电子气体被称为半导体 集成电路 (VLSI)制造技术的不断进步。随着IC 材料的 “粮食”和 “源”。半导体器件性能的好坏， 产业国际化竞争日益加剧，中国完全依赖进口电子 在很大程度上取决于所用电子气体的质量，电子气 气体生产IC的现状正面临着严峻的市场考验。此 体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体 外，电子气体多为易燃、易爆、剧毒化学品，在国 器件质的飞跃，正因如此，发达国家都在积极发展 际上属于控制范畴，进口相对麻烦，运输周期较 具有自主知识产权的电子化学气体，并且取得了明 长，这严重制约着国内光电子、微电子产业的健康 显的效果，由于电子气体质量决定着IC技术的发 稳定发展，因此，中国的IC制造商一直渴望国内 展，而半导体器件又广泛地应用于民用和军工领 开展电子气体的研究与生产，以解决 IC生产的 域，且发展势头强劲，它影响到国民经济和国防的 “源”的问题，从根本上解除IC制造业的后顾之 许多方面，因此，有关电子气体的生产、净化、包 忧，打通兆位级集成电路和VLSI级集成电路发展 装、分析等在国际上多属高度保密的技术。 的 “瓶颈”问题。光电子、微电子制造过程包括外 同光电子、微电子工业一样，我国电子气体的 延、成膜、掺杂、蚀刻、清洗、封装等诸多工序， 研究与生产起步较晚，资金投人量也显得相对不 需要的高纯电子化学气体及电子混合气高达30多 足。改革开放以来，中国政府已将 IC产业列为国 种以上，那么，我国电子气体水平同国外同行业先 家重点发展的支