透射电子显微镜的发展趋势 (1).pdfVIP

电大理工 2014年 6月 StudyofScienceandEngineeringatRTVU 第 2期 总第 259期 透射电子显微镜的发展趋势 赵云龙 辽宁装备制造职业技术学院 (沈阳 110161) 摘 要 透射电镜的相对于XRD在材料研究方面有很多优势，较强的散射性，能满足在微小的区域仍能获得足够 的衍射强度，可以实现微纳米加工和微区化学成分研究。为满足材料科学的需求，其发展向中等电压下的、配备原位 观察样品台的超高分辨 电镜方向发展。 关键词 TEM 衍射 明场 暗场 分辨率 STEM 透射 电镜分辨率高，是当今材料研究表征工具之 分辨率可达4008×2672，不但可以拍摄形貌像，也可 一 。 因其能够同时获得样品形貌、化学成分、晶体学 以拍摄电子衍射；便于存储和分析。 和微观结构等全方位信息，使其在材料研究领域的地 位越来越稳固。特别是在微观颗粒材料、材料缺陷表 2 透射 电镜的发展趋势 证和实验验证中的应用尤为重要。带有各种分析功能 随着科技的发展、网络的兴起，许多新技术渐渐 的透射电子显微镜，更是受到材料学家的青睐。高角 应用到了透射 电镜上，透射 电镜的发展方 向呈现出以 度环形暗场成像功能使透射 电子显微镜应用更加广 下趋势： 泛，不但可 以对纳米颗粒材料形貌观测，粒度测量， 2．1中等电压超高分辨率电镜 成分分析，还可以进行原子尺度的元素分布分析。其获 具有 肖特基场发射枪具有亮度高 (比钨丝枪高三 得的高分辨像 (STEM)可以直接用于解释，所以在 个量级)、交叉斑小 (直径为 O．01～0．02nm)、电子能 微观结构确定方面较传统的高分辨像 (HRTEM)更具 量分散小及相干性好等优点，正 日益受到重视 。对透 优势 。 射电镜开展微区衍射和微区分析十分有利，它的高相 干性为电子显微学开展全息术提供了广阔的前景。 1 透射电镜具有以下优势： 提高分辨本领常见的方法是改进仪器性能降低物 镜的球差、提高物镜电流和高压的稳定度 以减小色差。 (1)相对于XRD衍射来说，电子衍射的散射能力 提高加速电压，减小电子波长等均是提高分辨本领的 远远大于X射线的散射能力，这为微小晶体结构的分 有效途径。由于这些措施可能在超高压电镜中实施 ， 析测试提供了有力的研究工具； 因此，曾对超高压电镜寄以厚望。但是，因为技术上 (2)透射电镜可以同时获得研究对象外形特征、原 难度大，尤其是建造费用 昂贵，使其进展艰难 。而且 子排列信息、成分信息和晶体学结构信息最有效方法； 实际分辨本领的提高进展缓慢。目前常采用折衷的办 (3)利用会聚束 电子衍射，可以获得样品的三维衍 法是在 200~300kV的中等电压的电镜上加装单色器 射信息，便于分析物相 的点群、空间群的对称性； 降低色差；加装球差矫正器减小球差系数 。知名公司 (4)分辨率高。目前非球差矫正的HRTEM 分辨率