高精度2×2阵列拼接光栅结构设计.pdfVIP

第 23卷第 7期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．23，NO．7 2011年 7月 H IGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAMS Ju1．，2011 文章编号 ： 1001—4322(2011)07—1741—05 高精度 2×2阵列拼接光栅结构设计 周 忆 ， 申 超 ， 张军伟。～， 王 逍。， 周 海。 (1．重庆大学 机械传动 国家重点实验室 ，重庆 400030； 2．重庆大学 机械工程学院，重庆 400030； 3．中国工程 物理研究 院 激光聚变研究 中心，四川 绵 阳 610019) 摘 要 ： 提 出了一种大 口径高精度 2×2阵列光栅拼接结构 ，采用模块化和框架式结构设计 ，保证拼接结 构的稳定性 ；设计 了差动螺纹微调组件与压 电驱动器相结合 的微纳调整组件结构 ，实现拼接光栅微纳量级 的调 整要求 ；讨论 了关键组件的设计和制造问题 。设计制造 的2×2阵列光栅实验样机 的最大相对共面误差为 17 m，微纳调整组件的最小凋整精度可以达到 1．8nm，分辨力为 0．9nm，初步光路实验表 明，设计 的拼接调整机 构可以快速实时地调整 2×2阵列光栅达到要求的精度 ，且稳定时间大于 1h。 关键词 ： 阵列拼接光栅 ； 微纳调整 ； 结构设计 ； 快点火 中图分类号 ： TB133 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLPB20l12307．1741 大 口径光栅是获得更高能量 、更高强度的超短激光脉冲的关键元件。由于大 口径光栅制作难度很大 (大面 积曝光 、刻蚀及均匀镀膜等困难)，很难制造加工到大尺寸 (1m左右)，用拼接光栅 的方法获得大 口径阵列光栅 是解决问题的有效途径口刮。国内外学者在阵列光栅拼接理论及其拼接光栅的偏差对光束时间和空间特性的 影响方面都进行了研究。ZhangTiejun等人通过限制压缩脉冲脉宽的展宽程度对光栅拼接过程中的各种误差 提出了设计要求 ]。文献[5]基于傅里叶光学方法建立 了光栅拼接误差 的理论数学模型，提出了在要求 Strehl 比率为 9o 的条件下，对于口径为 40cm、脉宽为 0．1～10．0ps脉冲的拼接系统各种误差 的容限值。文献[63 根据夫琅禾费衍射方法分析了拼接光栅的偏差对光束空间特性的影响，模拟计算表明，光栅间拼缝和前后位移 偏差是影响光束远场分布的关键因素。文献 [7]则应用脉冲压缩理论分析了偏差和聚焦脉冲时间宽度展宽之 间的解析关系，数值计算结果表明，面平行左右偏差和条纹密度差异对脉冲的时间宽度影响较大 。这些研究对 精密阵列光栅的拼接结构设计奠定 了理论基础。本文讨论了一种 2×2阵列光栅的拼接结构设计方法和实现 ， 根据拼接精度要求分析讨论了总体设计 的关键问题和结构 ，并对关键组件的设计和制造进行了分析 。2×2阵 列光栅实验样机的单元光栅尺寸为210mm×150mm，由于采用模块化和可扩展设计 ，该实验样机为拼接光栅 的设计制造提供了基础 。 l 2×2阵列光栅拼接结构设计 1．1 阵列光栅拼接 自由度和误差构成 在阵列光栅拼接系统 中，两两子光栅有 6维 自由度影响拼接光栅的光束质量 ，即z，， 3维角度的旋转，z 向(沿光栅面法线方向)，z向(色散方 向)的平移及光栅刻线宽度 d。图 1为阵列拼接光栅的 自由度及误差构 成图l3]。各拼接误差的定义为 ：沿 z方向偏移d (shift)，沿 z方向偏移d (piston)，绕 轴的偏转 d0x(tip)，绕 轴的偏转 dO(tilt)，绕 轴的偏转 dO(rotate)，光栅刻线宽度误差 d(grooves)。根据文献 [3，8—9]的配对误 差补偿思想 ，d 和d ，dO和 Ad，dO和 d 构成了 3组配对误差 ，每组 中的两个误差因素对光束的影响是相似 的，即在调整过程 中可 以通过调整配对误差中的某一种误差来抵消另一种误差的影响。 1．2 2×2阵列拼接光栅总体结构 阵列光栅对拼接精度 (误差)和稳定性的要求极高 ]，因此拼接光栅结构设计必须考虑 的关键问题包括 ： (1)实现微纳量级的调整及其灵活性；(2)拼接结构高度的稳定性 ；(3)实时在位控制及对机械漂移、环境干扰等 的