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电子隧道传感器的原理、现状与发展.PDF

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电子隧道传感器的原理、现状与发展

6 2 Vol.6, No. 2 1998 4 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERIN G April, 1998 龙志峰  薛实福  李庆祥 ( 清华大学精密仪器与机械学系  北京100084) , , , , , , , , , , , , 1 , , , , , , ; , [ 1 3] [ 2 5] [ 6] , 2 , , [ 3] , : I Vbexp( A S ) ( 1) 1/ 2 b , V : ; : ; S : ; A: (A = 1. 025eV 1 ) V b / e : 1997 07 21 : 1997 10 20 6 2 ( 1) , I S , , , , , 3 ( 1) [ 1] , . . . . S B Waltman W J Kaiser 1 30100mV , , (0. 11. 0nA) , , ( ) , , , , 1eV, 0. 5%, ( 1) , 3 510 , 10g[ 2] ; [ 8] , 0. 5%, 680 , 1g , , , T . W . Kenny . . Fig. 1Schematic diagram of t he t unnel sensor system W J Kaiser [ 2] , 2 : , , , Fig.2Schematic diagram of prototype tunnel acceleromet er 2 : 3 0. 5eV , 1. 35nA , 0. 94nA/ , 200Hz, , 5 7 1/ 2 310 A/ g, 10Hz 110 g/ Hz , , , , , , , , 200Hz,

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