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电子隧道传感器的原理、现状与发展
6 2 Vol.6, No. 2
1998 4 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERIN G April, 1998
龙志峰 薛实福 李庆祥
( 清华大学精密仪器与机械学系 北京100084)
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. . Fig. 1Schematic diagram of t he t unnel sensor system
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200Hz,
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