单向流(层流式).pdf

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一清室的型式系向流流式系美中依流型式清室分四基本型式向流平行流垂直向流第永工程流垂直向下吹散角度且各速平均速工作面之平均速用水平向流流上游近出口之清度可但下游污染源或工作面之後之清度著差合型空用瑞光瑞光非向流流式非向流流型非平行流似於空之出方式但次次第永工程空次用斜吹型角斜吹式之清室流上下游之清度有著差合低高度之空用用所生二室空一般空相基本特徵如下一般空相清室空的基本特徵如下需要求清度一般空因不要求清度多用效率的可清洗式初而清室空需求用高高效率的更式初中高大的外荷程排需大量外以持正致相同空需要大

一、 清淨室的型式 AHU+DUCT+FFU 系統 單向流 層流式( ) MAU+ FFU+DRY COIL 系統 美國 FS-209D 中,依氣流型式將清淨室區分四種基本型式: 單 向 流(平行流) (1)垂直單向流 第 26 頁 YUNG CHUN 永錞工程………….. 0 氣流垂直向下吹(擴散角度≦ 15 ,且各點風速≦平均風速± 20%) ,工作面之平均風速0.25~0.35m/s ,100 級~1 級適用 .(2)水平單向流 氣流上游處(近出風口處)之清淨度可為 100~1 級,但下游處(污 染源或工作面之後)之清淨度顯著變差,適合狹長型空間應用 瑞儀光電 瑞儀光電 非單向流 亂流式( ) 非單向流 (3)亂流型 (非平行流) 類似於傳統空調之出風方式,但換氣次數為 20~70 次/時(傳 第 27 頁 YUNG CHUN 永錞工程………….. 統空調僅約 3~10 次/時) ≧1000 級適用 (4)斜吹型 為對角斜吹式之清淨室,氣流上、下游之清淨度有顯著差異, 較適合低高度之狹長空間用≧ 1000 級適用 所羅門 華生 二、 淨室空調與一般空調相較,基本特徵如下: 與一般空調相較,清淨室空調的基本特徵如下: (1) 需要求清淨度 一般空調因不要求清淨度,多採用 AFI 效率≦30%的可清洗式初級濾 網,而清淨室空調需求採用高價、高效率的更換式初、中、高級濾網 (2) 較大的外氣負荷 製程設備排氣,需補進大量外氣,以維持正壓,導致相同空間,郤需要 較大冷凍能力的空調設備 (3) 較大的換氣次數 一般空調之換氣次數多為 3~10 次/時,而清淨室空調之換氣次數高達 20~1000 次/時,因此需用(超)大馬力的風扇馬達 (4) 較低的溫濕度要求 一般空調:室溫為 24~27℃,濕度為 50~70%RH 清淨室空調:室溫為 20~24℃,濕度為 35~60%RH 故較低溫濕度導致較大的冷凍能力需求 (5) 恒溫恒濕要求 一般空調並不要求恒溫恒濕,但清淨室空調的溫濕度精度要求多為≦±2 第 28 頁 YUNG CHUN 永錞工程………….. ℃(DB)和≦±5%(RH) 。精密的精度要求,導致再熱與加濕能源及自動控 制設備等費用的增加 (6) 較佳的風管系統 因風管靜壓大,加上較低的送風溫度清淨室的風管工程,需有較佳的 密封性,較厚的保溫層和較厚的鐵皮施工過程中,要隨時保持清潔。 (7) 適當的室壓差控制 一般空調並不要求室壓控制,而清淨室空調為防止交叉污染,因此必 需裝設氣洗室、氣鎖室、遞物箱、洩壓閥及壓差控制儀器等設備 (8) 全天侯運轉 為了維持清淨室與溫濕度要求,正統的清淨室多需 24 小時的全天侯 運轉,其運轉成本多數倍於一般空調的運轉成本 第 29 頁

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