单一方向流无尘室.pdf

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一方向流向室及空清置一方向流室一方向流室一方向流室即流室通常以到的均流速度流整空典型垂直流型室之剖面一方向的流能立即地移除自人或程的污染流式通的室依混合稀移除污染一方向性流成流模式工作中有器流生阻人在其附近移流速度必在才能使被的流再次建立起流速度室的影流速度可到在流速此一方向性流可有效降低微粒子及菌度流速度到可降低空中微粒子但其降低污染的效果已明少流速度提供最佳的投酬率器或人密集提高一方向性流以流速度加以正地定因流速度愈高室愈清每小次房的有因此非正的衡量一方向流室所供的空量比流式室要多上好倍倍到

Design of Unidirectional Cleanrooms and Clean Air Devices (單一方向流向無塵室及空氣清淨裝置設計) Unidirectional Cleanrooms (單一方向流無塵室) 單一方向流無塵室 單一方向流( unidirectional airflow )無塵室, 即〝層流〞( laminar flow )無塵室 通常以0.3 m/s到0.5 m/s (60 ft/min - 100ft/min ) 的均勻氣流速度流經整個空間 6-3 典型垂直氣流型無塵室之剖面圖 6-4 單一方向的氣流能夠 立即地移除來自人員 或製程的污染 亂流式通風的無塵室則須依賴混合與稀釋 來移除污染 單一方向性氣流轉變成亂流模式 工作區間中有機器對氣流產生阻礙 人員在其附近移動 氣流速度必須在 0.3 -0.5m/s (60–100 ft/min ), 才能使被擾亂的氣流再次建立起來 6-5 氣流速度對無塵室的影響 氣流速度可從 0.1 m/s (20 ft/min )變到0.6 m/s (120 ft/min) 在流速為0.3 m/s (60 ft/min )時,此單一方 向性氣流可有效降低微粒子及細菌濃度。 氣流速度到達 0.6 m/s (120 ft/min )時,可 降低空氣中微粒子數,但其降低污染的效 果已明顯變少 氣流速度為 0.3 m/s將提供最佳的投資報酬 率,機器或人員密集時應提高。 6-6 單一方向性氣流應以氣流速度加以正確地定 義,因為氣流速度愈高,無塵室愈清潔。 每小時換氣次數(air changes per hour )與房 間的體積有關,因此並非正確的衡量標準。 單一方向流無塵室所供給的空氣量將比亂流 式無塵室要多上好幾倍(10倍到 100倍) 單向流無塵室一般分為兩種型式 水平層流 氣流方向是由牆面到牆面的水平方向流動 垂直層流 氣流方向則是由天花板到地板的垂直方向流動。 6-7 垂直層流無塵室 類型一 氣流穿過整個平面區域一直到地板 6-8 類型二 經由四週牆壁到地板高度的排氣格柵來進行回風 建議樓板面積以 6 m (20 ft )為最大寬度限制。 房間的中心處無法提供層流送風,且在其它地方 的氣流並非垂直 人員的位置在供風及產品間,可能會污染產品。 6-9 水平層流無塵室 水平層流無塵 室之典型設計 造價成本及運

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