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传 感 技 术 学 报 第4期 微机械 电子隧穿陀螺仪研究初步研究 尹 ／≯乙 苏岩 杨拥军 王寿荣 周百令 ≯ z 一 —— (丽 ，南京，2l。096) TH8 摘 要 本 文提 出了根据微机械振 动 陀螺仪 与 电子 隧道 传 感器相结合 的设 想 ，介 绍 了该 型 陀螺仪 的工作 原理 ，推 导 了陀螺仪 的运 动方程．从理论上 阐述 了该设想的可行性．仿 真结 果表 明，该 陀螺仪较 电容拴刹陀螺仪 ，其 是敏度可斌得 到很 大提 高． 关键词 隧道传 感器 微机械 陀螺仪 {龆勘 傍 螺 1 概 述 当前 ，绝大多数硅微型陀螺仪采用 电容式传感器检钡5陀螺仪输出信号．随着陀螺仪表结 构尺寸 的极大缩小 ．仪表的灵敏度和分辨率大大降低 ；传统电容检测技术的灵敏度 和分辨率 也大大 降低 ，达到 了检测的极 限状态 {检测输出信号 的信噪 比非 常低 ，信号检测 电路和处理 电路 极为复杂．因此 ，寻求新的高性 能位置传感器与硅微型陀螺仪相结台的方法是研究 的方 向之 一 ． 量 子理论中的隧道效应现象 已被 广泛应用 (如扫描隧道 显微镜等)．微机械 电子隧道式 加速度计的研制成功及其所表现出来的优越性能表明隧道效应传感器是一种非常好 的位置 传感器．它具有高灵敏度 、高分辨率和简单 的控制线路等优 点．采用隧道效应传感器 的新颖 微 型陀螺仪将极大提高 陀螺仪检测信号 的灵敏度 、分辨 率和信噪 比 该型陀螺仪表 的研 制， 必将进 一步提高微机 械陀螺仪的性能． 2 硅 微型 电子隧穿陀螺仪工作原理 硅微型 电子 隧穿陀螺仪 由上下两层结构构成 下层为玻璃对底 ，上有镀金 电极板和镀金 隧尖 ；上层为敏感元件 A、谐振器 B、挠性梁 C和固定吏撑 D．敏感元件平 板与 电极板与 电极 板构成 电容式力矩 器．与隧尖构成隧道传感器用于检测平板 的微小位移变化．陀螺仪结构俯 视 图和剖视 图如 附图所示 ． 224 传 感 技 术 学 报 A B 俯视图 剖视 图 附 图 陀螺仪 结构 关 系 图 谐振器 R上施加 驱动 电压 ： U1一 fc— Usm U：一 U。一 fsln 以产生静 电力 ： F 一 吉募(-t，Usn一吉 一 n 一 2 募 n 该 力作 用于敏感 元件 A上 ，使敏 感元件 A 产 生 x轴 方 向等 幅线振动．其 力学运 动方程如 下 奎+ + k F 一 2 U n 其 中： 为敏感 元件 质量 ；D 为阻尼 系数 ；k 为弹簧 刚度 通过求解上 式可得敏 感元件 A 的振动线速度 ，其 般形式为 V一 。COSmt．当敏感元件平 面 内Y轴方 向上有输入 角速度n(￡)时 ，哥 氏力为~--27noJ．rcosw／~(t)作用于敏感元件 A，使 敏感 元俘 A沿 Z轴方 向上下振 动．隧道传 感器敏 感到敏 感元件微 小位 移变 化后输 出电流， · 该电流经信号处理 电路处理后可得 到正 比于输 入角速 度的电信号． 3 硅微型 电子隧穿陀螺仪的运动方程 隧穿 陀螺仪的工作原理可通过在惯性 空 间的质点运动来描述．质量块上 的质点运 动可 以看成是质点在固定于基 座的运动 坐标 系内的运 动． 设质点在具有单位矢量 i、 、^的动坐标 系中的位置如下 ：