半导体自动测试系统的故障诊断.pdfVIP

中文摘要 半导体测试是芯片生产中的重要环节，芯片出厂前都要经过100％的测试， 以保证芯片的质量。半导体自动测试系统是测试生产中的重要仪器，芯片的测试 都是由这些昂贵的仪器自动完成，保证它们的利用效率对于生产厂商控制成本是 非常重要的。 半导体自动测试系统出现故障需要优秀的维修工程师进行故障诊断和维修， 维修工程师的工作效率会影响到半导体自动测试系统的利用效率。为增强他们对 GPIB通信接口的诊断能力，我们开发了GPIB通信接口的联合调试系统。GPIB 联合调试系统主要功能是将接口通信的内部信息提供给维修工程师，将不容易观 察到的接口底层信息反馈出来，并可以模拟测试系统和测试机进行模拟测试通 信。 我们研究的联合调试系统包括三大模块：接口模块、模拟测试模块、模拟测 试机模块。接口模块用于测试GPIB接口的底层通信，检测测试机与主机之间是 否可以建立通信连接，并可以提示故障。模拟测试模块可以模拟一种测试系统与 几种不同的测试机进行模拟测试，通过模拟测试通信环境来检测测试机的GPIB 接口在测试中是否出现问题。模拟测试机模块，可以模拟几种测试机与一种测试 系统进行模拟测试，同样通过模拟测试通信环境来检测测试系统的GPIB接口。 故障诊断的智能化是现在故障诊断的主流发展方向，基于知识的智能故障诊 断主要采用专家系统的方法实现。CLIPS是一种实现专家系统的编程语言，它支 持基于规则的、面向对象和面向过程的编程。 我们针对一种半导体测试中的测试机，使用专家系统的方法开发了帮助工程 师诊断决策的智能诊断专家系统，将维修工程师的决策经验使用CLIPS语言实 现。智能诊断专家系统主要实现对测试机开机问题的诊断决策，其中包括有电源 问题，控制回路问题，主计算机问题和程序下载问题。 【关键字】故障诊断半导体自动测试系统驱动程序GPIB专家系统 Abstract SemiconductorTestisthevital ofthe hundredof step chipproduction，apercent to needtobetestedmakesurethe ofall Test chips qualitychips．ATS(Automatic Semiconductoristhe test ofthe are System)of importantequipment production，chips tested are dear makeSurethe automaticallybythem．Theyvery equipments，SO high rate is to ofthem vitalthe ofutility very factory． nefaultoftheATSis the work ofthe diagnosedby engineer，theefficiency affecttherate arethemechanicalandelectric engineer ofutilityofATS．Theyalways thesakeofenhancementthe for of interface，I expert，SO diagnosticability